气体管路施工技术要求及验收标准？
技术要求
(1)总体设计：管道采用1/4”外径，经过ap处理的---级洁净不锈钢管道。所有集中在气瓶柜的管路有适当的路径进入各实验桌，在使用仪器的附近接气体考克。
(2)管路设计、规划要点：
气体管路系统应具有---的气密性，---性，可维护性。
1、气瓶阀出口为gb标准的外螺纹形式，为了便于管路系统与气瓶连接，故从气瓶阀出口到管道系统应设有转换接头(气瓶接头)。
2、为了方便更换气瓶，从上述气瓶接头到调节阀之间应设有耐高压的不锈钢螺旋管。
3、由于气瓶内部的气体压力为150bar左右，使用点的压力较小，气体压力有变化，而且数值差距较大，故应在气瓶出口处设置一级减压阀(双表头)。
4、气路系统中应设有在紧急情况下能够快速切---气的装置—开关阀，为了开关系统的方便和快捷，本项目中开关阀采用球阀。
5、为了保持气体的纯度及管道系统的气密性，所有管道采用进口316l不锈钢管道，内表面按规定处理。
6、管道与阀件的连接，管道与管道的连接应---系统的气密性，同时要便于维修及更换阀件。
7、管道固定件要求坚固，轻巧，---。
实验室气体的危险性：
1、有部分气体具有易i燃、易i爆、有毒、强腐蚀等特性，其一旦泄漏，就可能会对工作人员及仪器设备造成伤害；
2、多种气体在同一个环境下使用，如果有两种会发生燃烧或爆i炸等---化学反应的气体同时泄漏，就可能对工作人员以及仪器设备造成伤害；
4、多数气瓶出口压力可达15mpa，即150公斤/cm2，如果发生气瓶口减压装置失灵，就有可能将一些部件激i射出去，其能量对人体或设备都具有致命性的伤害。
高纯气体管道配管
所有高纯度、高洁净的气体均需通过管路输送到设备用点(pou)，为了达到工艺对气体的要求，在气体出口指标一定的情况下，则更需重视配管系统的材料选用和施工。除取决于制气或净化设备的精度外，在很大程度上受到管路系统诸多因素的影响，因此，管材的选取应恪守相关行业原则，并在图纸中注明管道材质。9、不锈钢管件在现场安装时方可启封，启封后均要适用5n的高纯气体吹扫后才能接入系统。
管路的材质则依使用的需求进行选择，若为制程用的反应气体则选择---级的316l ep管，经电解拋光(electro-polish)处理，耐腐蚀，表面粗糙度低，rmax(maximum peak to valleyht=)约为0.3μm以下，其值远低于经过光辉烧结(bright anneal)处理之316l ba管的0.8μm，因平整度越高越不容易形成微涡流，而将污染粒子带出。316l ba管则常使用于和芯片接触但不参与制程反应的气体，如gn2、cda。管内表面粗糙度是衡量管材的标准。粗糙度越低，其颗粒携带可能性---降低。（11）气瓶须定期检验，不得超过使用氧气瓶、乙i炔气瓶，液化石油i气瓶的检验周期为3年、氮气瓶的检验周期为5年。另一种未经特殊处理的ap管(annealing & picking)，则用于不做为供气管路的双套外管。
高纯气体管路的设计要点：
1.对于不同特性的气体，要规划独立的供应区域，一般分为三个区：腐蚀性/毒性气体区、可燃性气体区、惰性气体区，将相同性质的气体集中加强管理，可燃性气体区要---规划防爆墙与泄漏口，若空间不足，可考虑将惰性气体放置与毒性/腐蚀性气体区。
2.管路设计需要考虑输送的距离，距离越长，成本越高，风险也越高，通常较合理的设计流速为20ml/s，可燃性气体小于10ml/s,毒性/腐蚀性气体小于8ml/s，在用量设计方面，则需要考虑使用点的压力和管径大小，前者与气体特性有关，后者使用点的管径一般为1/4”～3/8”。（6）瓶阀、接管螺丝和减压阀等附件完好齐全，无漏气、滑丝、表针松动等危险情况，各类气压表一般不得混用。
3.根据用气设备的分布情况，高纯气体的管网不宜过大或者过长；宜采用不封闭的环形管路，在系统末端连续不断排放少量的气体，以便在管网中总有高纯气体流通，不会发生“死空间”引起高纯气体的污染。
4.管路中应减少不流动气体的“死空间”，不应设有盲管，在特种气体的储气瓶与用气设备之间应设吹扫控制装置、多阀门控制装置、用以控制各个阀门的开关顺序、系统吹除，以---供气系统的安全、---运行和防止“死区”形成而滞留污染物，降低气体纯度。
5.对高纯气体纯度要求不同的用气设备，宜采用分等级高纯气体输送系统；也可采用同等级输送系统，但是在纯度要求高的用气设备邻近处设末端气体提纯装置。
6.为了检测高纯气体的纯度和杂质含量，输送系统除了设置---的连续检测仪器，如衡量水含量或者氧杂质含量等分析仪外，还应设置定期取样用的检测采样口，以便按规定时间进行采样，分析高纯气体中各种杂质的含量。
7.在亚微米级的集成电路生产中，要求供应10－9级的高纯气体，为了---末端用气工艺设备处的气体纯度，使气体中的杂质含量（包括尘粒）控制在规定的数值内，一般在设备前设置末端纯化装置，或末端气体过滤器。
