苏州珂锐弘扬流体控制-真空管道安装生产商-真空管道安装

各种气体配管配件要求

在半导体体行业线宽越做越小，其对气体纯度、颗粒度、杂质含量、露i点的要求也越来越高。

高纯氮气(pn2)：系统管道采用内壁电解抛光(ep)低碳(316l)不锈钢管，阀门采用相同材质的波纹管阀或隔膜阀。

氮气(n2)：系统管道采用内壁电解抛光(ep)低碳(316l)不锈钢管或光亮退火(ba)低碳(316l)不锈钢管，苏州真空管道安装，阀门采用相同材质的波纹管阀或球阀。

高纯氢气(ph2)氢气(h2)：系统管道采用内壁电解抛光(ep)低碳(316l)不锈钢管，阀门采用相同材质的波纹管阀或隔膜阀。(ar)：系统管道采用内壁电解抛光(ep)低碳(316l)不锈钢管，阀门采用相同材质的波纹管阀或隔膜阀。

---气(he)：系统管道采用内壁电解抛光(ep)低碳(316l不锈钢管)阀门采用相同材质的波纹管阀或隔膜阀。

特气系统：---的还需做双套管：外管酸洗钝化(ap)处理，内管电解抛光(ep)，阀门采用相同材质的波纹管阀或隔膜阀。

对于特殊气体来讲，气体品种多，有毒有害气体多，真空管道安装，原来是一机台配一气柜，高昂的装备组合和维修费用---增加了投资成本，且有的还布置在工艺间内，存在着泄漏的安全---。现在广泛采用集中供气系统，气柜集中，自控系统不断完善，其报警、喷淋、切换、吹扫多较为成熟，特气间也与工艺间隔离，并对房间有防爆要求，工作的安全性---提高。

气体管路施工技术要求及验收标准？

技术要求

(1)总体设计：管道采用1/4”外径，真空管道安装价格，经过ap处理的------级洁净不锈钢管道。所有集中在气瓶柜的管路有适当的路径进入各实验桌，在使用仪器的附近接气体考克。

(2)管路设计、规划要点：

气体管路系统应具有---的气密性，---性，可维护性。

1、气瓶阀出口为gb标准的外螺纹形式，真空管道安装生产商，为了便于管路系统与气瓶连接，故从气瓶阀出口到管道系统应设有转换接头(气瓶接头)。

2、为了方便更换气瓶，从上述气瓶接头到调节阀之间应设有耐高压的不锈钢螺旋管。

3、由于气瓶内部的气体压力为150bar左右，使用点的压力较小，气体压力有变化，而且数值差距较大，故应在气瓶出口处设置一级减压阀(双表头)。

4、气路系统中应设有在紧急情况下能够快速切---气的装置—开关阀，为了开关系统的方便和快捷，本项目中开关阀采用球阀。

5、为了保持气体的纯度及管道系统的气密性，所有管道采用进口316l不锈钢管道，内表面按规定处理。

6、管道与阀件的连接，管道与管道的连接应---系统的气密性，同时要便于维修及更换阀件。

7、管道固定件要求坚固，轻巧，---。