气体管道安装-珂锐弘扬流体控制系统-气体管道安装价格

高纯气体管道配管

所有高纯度、高洁净的气体均需通过管路输送到设备用点(pou)，为了达到工艺对气体的要求，在气体出口指标一定的情况下，则更需重视配管系统的材料选用和施工。除取决于制气或净化设备的精度外，在很大程度上受到管路系统诸多因素的影响，因此，气体管道安装价格，管材的选取应恪守相关行业原则，并在图纸中注明管道材质。

管路的材质则依使用的需求进行选择，若为制程用的反应气体则选择---级的316l ep管，经电解拋光(electro-polish)处理，耐腐蚀，表面粗糙度低，rmax(maximum peak to valleyht=)约为0.3μm以下，气体管道安装，其值远低于经过光辉烧结(bright anneal)处理之316l ba管的0.8μm，因平整度越高越不容易形成微涡流，而将污染粒子带出。316l ba管则常使用于和芯片接触但不参与制程反应的气体，如gn2、cda。管内表面粗糙度是衡量管材的标准。粗糙度越低，其颗粒携带可能性---降低。另一种未经特殊处理的ap管(annealing & picking)，则用于不做为供气管路的双套外管。