珂锐弘扬流体控制系统-实验室气体管道安装怎么样

高纯气体管路的设计要点：

1.对于不同特性的气体，要规划独立的供应区域，一般分为三个区：腐蚀性/毒性气体区、可燃性气体区、惰性气体区，将相同性质的气体集中加强管理，可燃性气体区要---规划防爆墙与泄漏口，若空间不足，可考虑将惰性气体放置与毒性/腐蚀性气体区。

2.管路设计需要考虑输送的距离，距离越长，成本越高，风险也越高，通常较合理的设计流速为20ml/s，可燃性气体小于10ml/s，浙江实验室气体管道安装，毒性/腐蚀性气体小于8ml/s，在用量设计方面，则需要考虑使用点的压力和管径大小，前者与气体特性有关，后者使用点的管径一般为1/4”～3/8”。

3.根据用气设备的分布情况，高纯气体的管网不宜过大或者过长；宜采用不封闭的环形管路，在系统末端连续不断排放少量的气体，以便在管网中总有高纯气体流通，不会发生“死空间”引起高纯气体的污染。

4.管路中应减少不流动气体的“死空间”，不应设有盲管，在特种气体的储气瓶与用气设备之间应设吹扫控制装置、多阀门控制装置、用以控制各个阀门的开关顺序、系统吹除，以---供气系统的安全、---运行和防止“死区”形成而滞留污染物，降低气体纯度。

5.对高纯气体纯度要求不同的用气设备，宜采用分等级高纯气体输送系统；也可采用同等级输送系统，但是在纯度要求高的用气设备邻近处设末端气体提纯装置。

6.为了检测高纯气体的纯度和杂质含量，输送系统除了设置---的连续检测仪器，实验室气体管道安装厂家，如衡量水含量或者氧杂质含量等分析仪外，还应设置定期取样用的检测采样口，以便按规定时间进行采样，实验室气体管道安装，分析高纯气体中各种杂质的含量。

7.在亚微米级的集成电路生产中，要求供应10－9级的高纯气体，为了---末端用气工艺设备处的气体纯度，使气体中的杂质含量（包括尘粒）控制在规定的数值内，一般在设备前设置末端纯化装置，或末端气体过滤器。

高纯气体管道工程的变温吸附法除水步骤有哪些？

1、用固体cacl2除水，水份可降低至0.1%（体积）以下；

2、用---洗涤除去高纯气体夹带的水份，为了除去高纯气体中的杂质水，资料表明工业上常用---洗涤除去高纯气体夹带的水份。在保持过程佳工艺的理想条件下，水份可降至0.01%（体积）以下；

3、采用冷冻法来脱除高纯气体中水，可降到600～1000ppm，夏季水份还要更多些；

4、jmt型干燥剂是一种含硅i铝比的丝光沸石型分子筛，具有---的热稳定性，除在300℃前有一脱水而引起明显吸热峰外，在900℃前无明显的分解峰，说明其晶格具有优良的稳定性。