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理化性质: 六---硫(sf6)常态下是一种无色、无味、无嗅、---的非燃烧性气体,分子量146.06,密度6.139g/l,约为空气的5倍。是已知化学---性的物质之一,其惰性与氮气相似。它具有极i好的热稳定性,纯态下即使在500℃以上也不分解。六---硫具有的电绝缘性和灭弧特性,相同条件下,其绝缘能力为空气、氮气的2.5倍以上,灭弧能力为空气的100倍。六---硫的熔点为-50.8℃,可作为-45-0℃温度范围内的特殊制冷剂,又因其耐热性好,是一种稳定的高温热载体。

其中主要应用于半导体集成电路的消费制造。在半导体工业中应用的有110余种单元特种气体,其中常用的有20~30种。在集成电路制造应用方面详细包括集成电路芯片制程、化学气相堆积和气体应用、刻蚀和气体应用、掺杂和气体应用。
在太阳能电池应用方面详细包括太阳能电池的应用、晶体硅太阳能电池消费工艺和气体应用、薄膜太阳能电池消费工艺和气体应用;在化合物半导体应用方面详细包括化合物半导体的应用、mocvd/led消费工艺和气体应用。


气体组分的相容性 如果配制氮气中no/n2 标准气体, 如果高纯氮中含有氧或充装中带入氧, 那么混合气体就变成了no2/n2了、类似问题可总结为以下方面:
1) 酸性气体和碱性气体:常见的酸性气体包括:hcl, h2s, so, no2, 有机酸等不能和碱性气体如nh3及有机胺充入一个气瓶中;
2) 还原性气体和氧化性气体不相容, 不能充装在一个气瓶中。如:h2s和so2,标准气体生产商, h2s和no2, h2和cl2等。
3) 可燃或自燃气体与氧化性气体: 如果在爆i炸下限以上或需氧量以---可燃气体和氧化性气体充入同一个气瓶中, 会有爆i炸的危险。碳氢化合物和氢气作为可燃气体容易被人们重视,特种气体,而一i氧化碳的可燃性却常常被人们忽视, 而只是关注了它的毒性。氧气是助燃气体, 而no、n2o、no2、 f2、 cl2、nf3,安徽气体,等其它氧化性气体同样可以助燃,并和可燃性气体---i炸反应。当制备可燃气体和氧化性气体混和气时, 要经过严格的计算包括制备浓度和制备压力;不仅如此, 还要制定严格的制备工艺包括进样顺序,制备过程中混匀、分析等。

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