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高纯气体管路的设计要点:
1.对于不同特性的气体,要规划独立的供应区域,一般分为三个区:腐蚀性/毒性气体区、可燃性气体区、惰性气体区,将相同性质的气体集中加强管理,可燃性气体区要---规划防爆墙与泄漏口,若空间不足,可考虑将惰性气体放置与毒性/腐蚀性气体区。
2.管路设计需要考虑输送的距离,距离越长,成本越高,风险也越高,通常较合理的设计流速为20ml/s,可燃性气体小于10ml/s,毒性/腐蚀性气体小于8ml/s,在用量设计方面,则需要考虑使用点的压力和管径大小,前者与气体特性有关,后者使用点的管径一般为1/4”~3/8”。
3.根据用气设备的分布情况,高纯气体的管网不宜过大或者过长;宜采用不封闭的环形管路,在系统末端连续不断排放少量的气体,以便在管网中总有高纯气体流通,不会发生“死空间”引起高纯气体的污染。
4.管路中应减少不流动气体的“死空间”,不应设有盲管,在特种气体的储气瓶与用气设备之间应设吹扫控制装置、多阀门控制装置、用以控制各个阀门的开关顺序、系统吹除,以---供气系统的安全、---运行和防止“死区”形成而滞留污染物,降低气体纯度。
5.对高纯气体纯度要求不同的用气设备,宜采用分等级高纯气体输送系统;也可采用同等级输送系统,但是在纯度要求高的用气设备邻近处设末端气体提纯装置。
6.为了检测高纯气体的纯度和杂质含量,输送系统除了设置---的连续检测仪器,如衡量水含量或者氧杂质含量等分析仪外,还应设置定期取样用的检测采样口,以便按规定时间进行采样,分析高纯气体中各种杂质的含量。
7.在亚微米级的集成电路生产中,要求供应10-9级的高纯气体,为了---末端用气工艺设备处的气体纯度,使气体中的杂质含量(包括尘粒)控制在规定的数值内,气体管道安装厂家,一般在设备前设置末端纯化装置,或末端气体过滤器。

气体管道安装
气体管道可能承受许多种外力的作用,包括本身的重量、气体作用在管端的推力、风雪载荷、土壤压力、热胀冷缩引起的热应力、振动载荷和地i震灾害等。为了---管道的强度和刚度,必须设置各种支(吊)架,如活动支架、固定支架、导向支架和弹簧支架等。支架的设置根据管道的直径、材质、管子壁厚和载荷等条件决定。固定支架用来分段控制管道的热伸长,使膨胀节均匀工作;导向支架使管子仅作轴向移动。
为了排除凝结水,蒸汽和其他含水的气体管道应有一定的坡度,一般不小于千分之二。对于利用重力流动的地下排水管道,坡度不小于千分之五。蒸汽或其他含水的气体管道在底端设置排水管或疏水阀,某些气体管道还设有气水分离器,以便及时排去水液,气体管道安装生产商,防止管内产生水击和阻碍气体流动。给水或其他液体管道在顶端设有排气装置,排除积存在管道内的空气或其他气体,以防止气阻造成运行失常。管道如不能自由地伸缩,就会产生---的附加应力。因此,在温度变化较大的管道和需要有自由位移的常温管道上,需要设置膨胀节,使管道的伸缩得到补偿而消除附加应力的影响。对于蒸汽管道、高温管道、低温管道以及有防烫、防冻要求的管道,需要用保温材料包覆在管道外面,防止管内热(冷)量的损失或产生冻i结。常用的保温材料有水泥珍珠岩、玻璃棉、岩棉和石棉硅藻土等。

实验室供气系统设计要点
(1)通过气瓶和输送管道将载气输送给仪器,气体管道安装,在气瓶出口装有单向阀,可避免更换气瓶时有空气和水分混入,另外在一端安装泄压开关球阀,气体管道安装,将多余的空气和水分排放后再接入仪器管道,---仪器用气的纯度。
(2)集中供气系统采用二级减压---压力的稳定,采用二级减压的方式,一是,经过第i一级减压后,干路压力比气瓶压力---降低,起到了缓冲管道压力的作用,提高了用气的安全,降低了应用的风险,二是---仪器供气入口压力的稳定,降低了因为气体压力波动而引起的测量误差,---了仪器使用的稳定性。
(3)由于实验室有些仪器需要使用易i燃气体,如甲i烷,乙i炔,氢气,做这易i燃气体的管路时,应注意管路尽量短,减少中间接头的连接,同时,气瓶一定装入防爆气瓶柜内,气瓶输出端接回火器,可阻止火焰回流气瓶引起的爆i炸,防爆气瓶柜顶端应有连接到室外的通风排气口,且有泄漏报警装置,一旦泄漏能及---警并将气体排到室外。

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