其中主要应用于半导体集成电路的消费制造。在半导体工业中应用的有110余种单元特种气体，其中常用的有20~30种。在集成电路制造应用方面详细包括集成电路芯片制程、化学气相堆积和气体应用、刻蚀和气体应用、掺杂和气体应用。
在太阳能电池应用方面详细包括太阳能电池的应用、晶体硅太阳能电池消费工艺和气体应用、薄膜太阳能电池消费工艺和气体应用；在化合物半导体应用方面详细包括化合物半导体的应用、mocvd/led消费工艺和气体应用。
气体工业是---基础工业之一，它涉及到---的各个领域、涉及到人民的日常生活，特种气体有哪些，牵动着---的发展。在---高速发展及下业的---需求下，相门区特种气体，我国特种气体行业在2006年后进入快速发展阶段，年均增速达到17%以上。2011年，国内特种气体行业产值规模为296.88亿元，较上年增长22.15%;销售收入为297.52亿元，较上年增长21.64%。预计2012年特种气体行业销售规模将达360亿元，2012-2015年复合增长率有望保持10.3%。
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