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高纯气体管道配管
所有高纯度、高洁净的气体均需通过管路输送到设备用点(pou),为了达到工艺对气体的要求,在气体出口指标一定的情况下,则更需重视配管系统的材料选用和施工。除取决于制气或净化设备的精度外,相门区管道工程,在很大程度上受到管路系统诸多因素的影响,因此,管材的选取应恪守相关行业原则,并在图纸中注明管道材质。
管路的材质则依使用的需求进行选择,管道工程性能,若为制程用的反应气体则选择---级的316l ep管,经电解拋光(electro-polish)处理,耐腐蚀,表面粗糙度低,管道工程价格,rmax(maximum peak to valleyht=)约为0.3μm以下,其值远低于经过光辉烧结(bright anneal)处理之316l ba管的0.8μm,因平整度越高越不容易形成微涡流,而将污染粒子带出。316l ba管则常使用于和芯片接触但不参与制程反应的气体,如gn2、cda。管内表面粗糙度是衡量管材的标准。粗糙度越低,其颗粒携带可能性---降低。另一种未经特殊处理的ap管(annealing & picking),则用于不做为供气管路的双套外管。

实验室气路改造设计有那些要求?
1、为了便于气瓶的更换,气瓶连接器和调节阀之间应设置耐高压金属软管。
2.为了防止整个系统回火,应安装防爆止回阀。
3.气体在进入使用点之前,为了便于控制气体开关,应提供一个使用点球阀。
4.为了保持气体的纯度和管道系统的气密性,所有管道均为316l不锈钢管道,内表面经ap处理。
5.为了便于阀门部件的维护和更换,管道与阀门部件之间的连接应采用高压双卡套接头连接。
6.管道固定部件(管夹)应由耐高温金属材料制成,并应牢固、轻便和---。
7.考虑到坚固、耐腐蚀、使用方便、外形美观等原因,调压阀的控制面板采用不锈钢制成。
8.为了---气体输出压力的稳定性和气体的纯度,选择了二级减压系统(即采用一级减压系统和二级减压系统,二级减压设备系统自带)。

气体管道工程流量太大调不小的原因与解决办法?
气体管道工程在实施时难免发生---小小的事情,如果不加以解决会影响整个工程的进展,甚至造成的损失,那么呢了解气体管道工程流量太大调不小的原因吗,当遇到这种问题又有哪些解决方法呢?
产生此类故障的原因有三种:
第i一,是流量计后气路有泄漏;
第二,是气路气阻太小;
第三,是流量控制阀件损坏。
实验室气体管道工程
其检查方法如下:
首先堵住检测器的气路出口,观察流量计中的转子是否可下降到零位。如不能降为零,需要考虑对漏气处进行检查,管道工程,具体方法见气路泄漏的检查与排除;如转子可降到零位说明系统不漏气。
气体管道工程
此时应观察一---量调节阀转动时,流量是否 有较大的变动,若有变动可适当增加气路气阻;若无变动则应怀疑阀件本身有问题,按照阀件的清洗部分处理。处理后的阀件应再装回原气路中进行控制试验。

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