自然扩散法将充入标准气体的钢瓶倒立在合适的位置，静止不动，靠气体本身的自然扩散来达到混合均匀，但此法所需时间较长。其他混匀方法采用静态混合容器或使用特殊构造的容器阀门，可以在很短时间内使标准气体混合均匀。
不管采用哪种方法进行混匀处理，必须用另一种的分析方法进行检验。在标准气体研究阶段，要考察所研究的标准气体的均匀性，标准气体，一般采用气相色谱法在相同的操作条件下，标准气体价格，进行测定，以考察标准气体的均匀性，通常用平均值的一致性检验方法来判断。
光纤制备中用作生产掺氟玻璃的氟源，标准气体生产商，在制造低损耗单模光纤中用作隔离层的掺杂剂。还可用作氮准分子激光器的掺加气体。在气象、环境检测及其他部门用作示踪剂、标准气或配制标准混合气。在高压开关中用作灭弧和大容量变压器绝缘材料。也可用于粒子及避雷器中。利用其化学稳定性好和对设备不腐蚀等特点，在冷冻工业上可用作冷冻剂（操作温度－45~0℃之间）。由于对α粒子有高度的停止能力，还用于化学。此外还作为一种反吸附剂从矿井煤尘中置换氧。
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