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高纯气体配管及附件材质的选择
选用渗透性小、出气速率低、吸附性差的材料。目前---规模集成电路前工序高纯气体输送系统管道材料采用不锈钢光亮退火管(ss304ba、ss316ba)、不锈钢电抛光管(ss316l-ep)等,但是对要求控制高纯气体中总杂质含量≤1.01.0×10-6及以下的管材应用ss316l-ep管。
注:管路型式以气体特性设计,惰性气体使用一般的单层管,作为制程用的反应气体,则选用高i级别的ss316l-ep管;使用与芯片接触但不参与制程反应的气体则选用ss316l-ba管。
对于自燃爆i炸,有剧i毒的特种气体,如sih4、ph3、ash3等则考虑使用双套管,它的内/外管材质一般为ss316l-ep/ss316l-ap,此设计的主要目的有两点,首先可保护内管直接受到外力撞击,其次能将由内管渗漏的气体阻绝于外管,并利用相关的检测设备检测,目前常用的设计有正压和负压两种方式,负压设计是将内外管间---真空,正压设计则是灌以氮气维持正压,两者皆可接上压力表或者压力警报器检知泄漏状态。
通常采用的方法有机械喷砂、化学溶液清洗、化学抛光、电抛光等,目前广泛应用的管材有光亮退火管和电抛光管。

气路系统百科知识
气路系统主要由气源切换系统、管道系统、调压系统、用气点、监控及报警系统组成。对于一些易i燃易i爆气体,如氢气、乙i炔等,实验室气体管道安装,可能在设计和施工过程中稍有差异,实验室气体管道安装生产商,必须加入气体回火防止器等安全控制装置。
概述;
在现代化的实验室中,为了完成实验,需要用到多种分析仪器,如气相色谱仪,原子吸收,气—质联用仪,icp等等,其中这些仪器需要用到高纯气体,传统的做法是采用独立钢瓶分散供气的模式,这种供气模式每台仪器设备单独配置气体钢瓶,分别满足每台仪器设备的使用,但随着近年来实验室投资的不断加大,仪器设备的迅速增加,用气量也逐年增加,传统的供气模式已经难以满足仪器设备增加的需求,实验室气体管道安装,同时分散供气模式带来的实验室布局混乱,钢瓶的频繁更换也对实验室的管理和维护造成了困难,为了解决以上两个方面的问题,就需要一套安全性高且能实现集中分配供气的系统完成从气源向仪器的供气,这就是实验室高纯气体管道系统的功能所在。

气体管道工程泄漏检查的方法有哪些?
气体管道(gas pipeline)包括控制阀门、过滤器、减压装置、压力表、流量计、在线分析仪等,宜集中设在气体入口室。
ai级试漏
对气路---泄漏的粗略观察。通常在气源打开并稳定之后,不应听到气路流经的各管路及阀件接头处有丝丝的跑气声,如听到明显的漏气声,说明系统有大漏!必须依据漏气声,---出泄漏处,并加以排除。引起系统大漏的常见原因是:气路接头没上紧,气路中管路开裂及没加合适的垫片等。查找气路的---泄漏,也可在流 路的流量开到顶值时,用肥皂水在各接头逐步测试有无气泡出现而加以证实。
b级试漏
对气路中轻微漏气的检查。方法是堵住气路出口,观察气路中流量计内的转子。如果能缓缓下降为零,即可认为此气路b级试漏合格。如转子不能降到零,可用肥皂水在各接头处仔细观察。直到找到泄漏处为止。
c级试漏
对气路中极i小漏气的检查。方法是堵住气路出口,观察系统压力表,不得在半小时之内有5kpa(相当于0.05kgf/cm2)以上的下降。此时系统压力应在0.25mpa(相当于2.5kgf/cm2)以上。---时可在系统出口处外接一个0.5级标准压力表来读取压力变化数。
在证实气路系统有泄漏时,可用分段堵住或关闭气路的方法来缩小漏气发生的范围。绝大多数的漏气点都发生于气路接头处,而气路阀件内部的泄漏也时有发生,至于管路中间的泄漏,除了急转弯处以外是很少见的。

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