真空管道安装-珂锐弘扬流体控制系统-真空管道安装

洁净车间高纯气体管道的安装、施工？

洁净厂房中的气体管道是指气体压力小于等于0.8mpa的氢气、氧气、氮气、压缩空气、燃气等一般气体和高纯气体管道及真空管道，其具体的安装要求可参考<洁净室施工及验收规范>(jgj 71-1990)的有关规定。高纯气体是指其气体纯度大于等于99.9995%，含水量小于5×10-4%的气体。

高纯度、高洁净气体管道的施工不同于一般工业管道，稍有疏忽便可能破坏气体的。因此，要理解安装气体的重大意义、要求严格遵守设计、施工要求，工作严肃认真、一丝不苟，高度重视各个细小环节，建成符合要求的管路系统。要求做到以下几个方面:

1.外观的检查工作

(1)管道系统的管材、阀门及所有附件，严格设计要求选用，不得随意更改或代换。

(2)所有管材应放在室内---保管，真空管道安装厂家，不得露天堆放、日晒和雨淋。

(3)管段端头要用塑料或橡胶密封罩加以密封，不得脱落、破i裂。

(4)管子、管件、阀门等使用前，详细进行下列外观检查:

1)无裂纹、缩孔、折叠、重皮等缺陷。

2)无锈蚀、蚀斑等现象。

3)管子平直、圆滑，无局部凹陷，无刮伤、挤压等缺陷。

4)管材内表面的“粗糙度”是否符合设计要求，螺纹处密封、保护是否---。

5)外购成品“内表面超光滑洁净管”要有出厂合格证及相关等i级i---和资i质证明。应随机抽样做显微镜下检验，必须符合设计要求。

6)检查成品“内表面超光滑洁净管”的外包装和相应管端头的管帽、堵头等密封措施是否符合要求。

7)法兰的密封面应当平整、光滑，不得有毛刺及径向沟槽，凹凸法兰应当能够自然嵌合，凸面的高度不得低于凹槽的---。

8)橡胶、塑料等非金属垫片，应当质地柔软、无老化及分层现象，表面不得有折损、皱i纹等现象。金属垫片的加工尺寸、精度、厚度、表面粗糙度、硬度、厚度等均要符合要求，表面不得有裂纹、毛刺、凹槽、径向划痕和锈斑等缺陷。

各种气体配管配件要求

在半导体体行业线宽越做越小，其对气体纯度、颗粒度、杂质含量、露i点的要求也越来越高。

高纯氮气(pn2)：系统管道采用内壁电解抛光(ep)低碳(316l)不锈钢管，阀门采用相同材质的波纹管阀或隔膜阀。

氮气(n2)：系统管道采用内壁电解抛光(ep)低碳(316l)不锈钢管或光亮退火(ba)低碳(316l)不锈钢管，阀门采用相同材质的波纹管阀或球阀。

高纯氢气(ph2)氢气(h2)：系统管道采用内壁电解抛光(ep)低碳(316l)不锈钢管，阀门采用相同材质的波纹管阀或隔膜阀。(ar)：系统管道采用内壁电解抛光(ep)低碳(316l)不锈钢管，阀门采用相同材质的波纹管阀或隔膜阀。

---气(he)：系统管道采用内壁电解抛光(ep)低碳(316l不锈钢管)阀门采用相同材质的波纹管阀或隔膜阀。

特气系统：---的还需做双套管：外管酸洗钝化(ap)处理，内管电解抛光(ep)，阀门采用相同材质的波纹管阀或隔膜阀。

对于特殊气体来讲，气体品种多，有毒有害气体多，原来是一机台配一气柜，高昂的装备组合和维修费用---增加了投资成本，且有的还布置在工艺间内，存在着泄漏的安全---。现在广泛采用集中供气系统，气柜集中，自控系统不断完善，真空管道安装，其报警、喷淋、切换、吹扫多较为成熟，真空管道安装，特气间也与工艺间隔离，并对房间有防爆要求，工作的安全性---提高。