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高纯气体管道配管
所有高纯度、高洁净的气体均需通过管路输送到设备用点(pou),为了达到工艺对气体的要求,在气体出口指标一定的情况下,则更需重视配管系统的材料选用和施工。除取决于制气或净化设备的精度外,在很大程度上受到管路系统诸多因素的影响,因此,管材的选取应恪守相关行业原则,并在图纸中注明管道材质。
管路的材质则依使用的需求进行选择,若为制程用的反应气体则选择---级的316l ep管,经电解拋光(electro-polish)处理,耐腐蚀,苏州工业园区管道工程,表面粗糙度低,rmax(maximum peak to valleyht=)约为0.3μm以下,其值远低于经过光辉烧结(bright anneal)处理之316l ba管的0.8μm,管道工程,因平整度越高越不容易形成微涡流,而将污染粒子带出。316l ba管则常使用于和芯片接触但不参与制程反应的气体,如gn2、cda。管内表面粗糙度是衡量管材的标准。粗糙度越低,其颗粒携带可能性---降低。另一种未经特殊处理的ap管(annealing & picking),则用于不做为供气管路的双套外管。

气体管道安装
在实验室设计领域中,实验室供气系统的规划设计是相当重要的。不仅是给试验操作人员一个---的工作环境,是对试验人员的人身安全的一个保障。所以在实验室设计之初我们就应该把供气系统的设计规范考虑进去。相应等级的实验室就应该有相应的设计规范,这样才能完i美的设计出一个利于工作而---安全的实验室。
一、气瓶间及气瓶的安全规范
(1)气瓶应专瓶,不能随意改装其它种类的气体。
(2)气瓶室严禁靠近火源、热源和有腐蚀性的环境。
(3)气瓶室必须使用防爆开关和灯具,周围禁止动用明火。
(4)气瓶室应有通风设备,保持阴凉,气瓶室顶部应该留有泄流孔防止易i燃气体的---。
(5)空瓶与实瓶分区放置,气瓶室易i燃易i爆气瓶应该与助燃气瓶隔离。
(6)瓶阀、接管螺丝和减压阀等附件完好齐全,无漏气、滑丝、表针松动等危险情况,各类气压表一般不得混用。
(7)气瓶在储存、使用时必须直立放置,管道工程厂家,工作地点不固定且移动频繁时,应固定在手推车上,防止倾倒,严禁卧放使用。
(8)气瓶严禁靠近火源、热源和电气设备,与明火距离不少于10m,氧气瓶和乙i炔气瓶同时使用时,不能放在一起。
(9)使用后的空瓶,应移至空瓶存放区,并加上空瓶的标示,严禁空瓶与实瓶混存。
(10)气瓶中气体不可用尽,必须保持一定余压。
(11 )气瓶须定期检验,不得超过使用氧气瓶、乙i炔气瓶,液化石油i气瓶的检验周期为3年、氮气瓶的检验周期为5年。
(12)气瓶应放在主体建筑物之外的气瓶存放间。对日用气量不超过一瓶的气体,实验室内可放置一个该种气体的气瓶,但气瓶应有安全防护设施。
(13)氢气和氮气的气瓶存放间应有每小时不小于三次换气的通风措施。

洁净车间高纯气体管道的安装、施工?
洁净厂房中的气体管道是指气体压力小于等于0.8mpa的氢气、氧气、氮气、压缩空气、燃气等一般气体和高纯气体管道及真空管道,其具体的安装要求可参考<洁净室施工及验收规范>(jgj 71-1990)的有关规定。高纯气体是指其气体纯度大于等于99.9995%,含水量小于5×10-4%的气体。
高纯度、高洁净气体管道的施工不同于一般工业管道,稍有疏忽便可能破坏气体的。因此,要理解安装气体的重大意义、要求严格遵守设计、施工要求,工作严肃认真、一丝不苟,高度重视各个细小环节,建成符合要求的管路系统。要求做到以下几个方面:
1.外观的检查工作
(1)管道系统的管材、阀门及所有附件,严格设计要求选用,不得随意更改或代换。
(2)所有管材应放在室内---保管,不得露天堆放、日晒和雨淋。
(3)管段端头要用塑料或橡胶密封罩加以密封,不得脱落、破i裂。
(4)管子、管件、阀门等使用前,详细进行下列外观检查:
1)无裂纹、缩孔、折叠、重皮等缺陷。
2)无锈蚀、蚀斑等现象。
3)管子平直、圆滑,无局部凹陷,管道工程性能,无刮伤、挤压等缺陷。
4)管材内表面的“粗糙度”是否符合设计要求,螺纹处密封、保护是否---。
5)外购成品“内表面超光滑洁净管”要有出厂合格证及相关等i级i---和资i质证明。应随机抽样做显微镜下检验,必须符合设计要求。
6)检查成品“内表面超光滑洁净管”的外包装和相应管端头的管帽、堵头等密封措施是否符合要求。
7)法兰的密封面应当平整、光滑,不得有毛刺及径向沟槽,凹凸法兰应当能够自然嵌合,凸面的高度不得低于凹槽的---。
8)橡胶、塑料等非金属垫片,应当质地柔软、无老化及分层现象,表面不得有折损、皱i纹等现象。金属垫片的加工尺寸、精度、厚度、表面粗糙度、硬度、厚度等均要符合要求,表面不得有裂纹、毛刺、凹槽、径向划痕和锈斑等缺陷。

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