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各种气体配管配件要求
在半导体体行业线宽越做越小,其对气体纯度、颗粒度、杂质含量、露i点的要求也越来越高。
高纯氮气(pn2):系统管道采用内壁电解抛光(ep)低碳(316l)不锈钢管,阀门采用相同材质的波纹管阀或隔膜阀。
氮气(n2):系统管道采用内壁电解抛光(ep)低碳(316l)不锈钢管或光亮退火(ba)低碳(316l)不锈钢管,阀门采用相同材质的波纹管阀或球阀。
高纯氢气(ph2)氢气(h2):系统管道采用内壁电解抛光(ep)低碳(316l)不锈钢管,阀门采用相同材质的波纹管阀或隔膜阀。(ar):系统管道采用内壁电解抛光(ep)低碳(316l)不锈钢管,阀门采用相同材质的波纹管阀或隔膜阀。
---气(he):系统管道采用内壁电解抛光(ep)低碳(316l不锈钢管)阀门采用相同材质的波纹管阀或隔膜阀。
特气系统:---的还需做双套管:外管酸洗钝化(ap)处理,内管电解抛光(ep),阀门采用相同材质的波纹管阀或隔膜阀。
对于特殊气体来讲,气体品种多,有毒有害气体多,原来是一机台配一气柜,高昂的装备组合和维修费用---增加了投资成本,且有的还布置在工艺间内,存在着泄漏的安全---。现在广泛采用集中供气系统,管道工程,气柜集中,自控系统不断完善,其报警、喷淋、切换、吹扫多较为成熟,特气间也与工艺间隔离,并对房间有防爆要求,工作的安全性---提高。

实验室气体工程安装注意事项
(1) 管径为1/8的管路很细且特软,安装后不直,很不美观,建议管径为1/8的全部换成1/4,在二级减压器末端加一变径就可以了。
(2) 氮气,ar,压缩空气,---气,甲i烷,氧气的已经减压器压力表量程为0—25mpa,二级减压器为0—1.6 mpa。乙i炔一级减压器量程为0—4 mpa,二级减压器为0—0.25 mpa。
(3) 氮气,管道工程厂家,ar,压缩空气,---气,管道工程,氧气钢瓶接头共用氢气钢瓶接头分两种,一是正转钢瓶接头,管道工程价格,另一是反转。---瓶用的是反转,小气瓶用的是正转。
(4) 气体管路每隔1.5m设一管子固定件弯曲处及阀门两端都应设固定件。
(5) 气体管路应沿墙明设,以便安装维护。

高纯气体管道工程的变温吸附法除水步骤有哪些?
1、用固体cacl2除水,水份可降低至0.1%(体积)以下;
2、用---洗涤除去高纯气体夹带的水份,为了除去高纯气体中的杂质水,资料表明工业上常用---洗涤除去高纯气体夹带的水份。在保持过程佳工艺的理想条件下,水份可降至0.01%(体积)以下;
3、采用冷冻法来脱除高纯气体中水,可降到600~1000ppm,夏季水份还要更多些;
4、jmt型干燥剂是一种含硅i铝比的丝光沸石型分子筛,具有---的热稳定性,除在300℃前有一脱水而引起明显吸热峰外,在900℃前无明显的分解峰,说明其晶格具有优良的稳定性。

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