实验室气体管道安装-珂锐弘扬流体控制系统

配管的准备工作

(1)无论多大压力、何种介质及何种用途的配管，下料时均不得采用氧、乙i炔焰切割。无论是机械或手工下料，分段处不得涂抹油脂或使用润滑剂。

(2)管子切口应当与管轴线严格垂直，切口表面平整，不得有裂纹、毛刺。

(3)各种阀门应在安装前清洗，清洗前先应研磨、试压合格，然后拆成零部件，并在ccl4溶剂中浸泡1~1.5h。安全阀清洗后应当重新试压。

(4)波纹管等无法拆解成零部件的阀门，应在组装的情况下清洗。对清洗的效果可用下法检查:从阀门入口处注入清洗溶剂，并使溶剂流经阀门各处，实验室气体管道安装怎么样，阀门流出的溶剂过滤后用显微镜检查过滤器表面情况是否符合设计要求。

(5)采用普通不锈钢管时，其表面若粘附有油污，安装后清洗十分困难，应当将原管放入清洗槽内清洗。管道内壁的酸洗工作，必须---清除掉的锈蚀部分而不损害未锈蚀的表面。

(6)氧气管路的阀门、附件等，应当严格禁油，并在安装前按有关要求严格脱脂。

3.金属管道的连接

(1)管道材质。用于输送高纯气体的金属管道材质主要有:

1)低碳不锈钢。大流量高纯、高洁净气体原则上全部采用低碳不锈钢管。

2)铜管。在半导体企业中，个别生产工艺如gaas的操作，为了防止产生器件电阻，不允许使用铜制管路及其附件，只能使用不锈钢材料。

各种气体配管配件要求

在半导体体行业线宽越做越小，其对气体纯度、颗粒度、杂质含量、露i点的要求也越来越高。

高纯氮气(pn2)：系统管道采用内壁电解抛光(ep)低碳(316l)不锈钢管，阀门采用相同材质的波纹管阀或隔膜阀。

氮气(n2)：系统管道采用内壁电解抛光(ep)低碳(316l)不锈钢管或光亮退火(ba)低碳(316l)不锈钢管，阀门采用相同材质的波纹管阀或球阀。

高纯氢气(ph2)氢气(h2)：系统管道采用内壁电解抛光(ep)低碳(316l)不锈钢管，阀门采用相同材质的波纹管阀或隔膜阀。(ar)：系统管道采用内壁电解抛光(ep)低碳(316l)不锈钢管，阀门采用相同材质的波纹管阀或隔膜阀。

---气(he)：系统管道采用内壁电解抛光(ep)低碳(316l不锈钢管)阀门采用相同材质的波纹管阀或隔膜阀。

特气系统：---的还需做双套管：外管酸洗钝化(ap)处理，实验室气体管道安装，内管电解抛光(ep)，阀门采用相同材质的波纹管阀或隔膜阀。

对于特殊气体来讲，气体品种多，有毒有害气体多，原来是一机台配一气柜，高昂的装备组合和维修费用---增加了投资成本，且有的还布置在工艺间内，存在着泄漏的安全---。现在广泛采用集中供气系统，气柜集中，自控系统不断完善，其报警、喷淋、切换、吹扫多较为成熟，特气间也与工艺间隔离，并对房间有防爆要求，工作的安全性---提高。