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各种气体配管配件要求
在半导体体行业线宽越做越小,其对气体纯度、颗粒度、杂质含量、露i点的要求也越来越高。
高纯氮气(pn2):系统管道采用内壁电解抛光(ep)低碳(316l)不锈钢管,气体管道安装,阀门采用相同材质的波纹管阀或隔膜阀。
氮气(n2):系统管道采用内壁电解抛光(ep)低碳(316l)不锈钢管或光亮退火(ba)低碳(316l)不锈钢管,阀门采用相同材质的波纹管阀或球阀。
高纯氢气(ph2)氢气(h2):系统管道采用内壁电解抛光(ep)低碳(316l)不锈钢管,阀门采用相同材质的波纹管阀或隔膜阀。(ar):系统管道采用内壁电解抛光(ep)低碳(316l)不锈钢管,阀门采用相同材质的波纹管阀或隔膜阀。
---气(he):系统管道采用内壁电解抛光(ep)低碳(316l不锈钢管)阀门采用相同材质的波纹管阀或隔膜阀。
特气系统:---的还需做双套管:外管酸洗钝化(ap)处理,内管电解抛光(ep),阀门采用相同材质的波纹管阀或隔膜阀。
对于特殊气体来讲,气体品种多,有毒有害气体多,原来是一机台配一气柜,高昂的装备组合和维修费用---增加了投资成本,且有的还布置在工艺间内,存在着泄漏的安全---。现在广泛采用集中供气系统,气体管道安装,气柜集中,自控系统不断完善,其报警、喷淋、切换、吹扫多较为成熟,气体管道安装厂家,特气间也与工艺间隔离,并对房间有防爆要求,工作的安全性---提高。

集中供气系统
集中供气系统又称中央供气系统(central gas supply system),是一种越来越普遍被人们采用的一种供气方式。它主要是由气源,切换装置,调压装置,终端用气点,监控及报警装置组成。
简而言之,集中供气系统将中央储气设备中的气体经切换装置并调压后通过管路系统输送到各个分散的终端用气点。工厂车间和实验室过去分散的钢瓶供气方式变得越来越过时并逐渐被废弃不用。当代大型工厂车间中的各类耗气设备和大多数实验室中的各种分析仪器如色谱仪或质谱仪都需要连续使用载气和燃料气,因此车间和实验室的管理者需要考虑如何实现这些气体的连续、稳定和安全的供给,可以用高压钢瓶、液体杜瓦瓶、集中供气系统或综合上述几种方法来进行供气。基于安全和效率因素,不考虑经仪经济性因素,集中供气系统变得越来越普遍,并成为当今实验室设备中高纯气体的---连续的供应源。在某些情况下,当地消防规范建议甚至要求将主要的气体源如钢瓶、杜瓦瓶和液体储槽
放置在工作区外的指i定区域,然后将气体通过管道系统输送至厂房内,并可通过安装在工作台上的使用点二级减压器方便地调节压力和流量。

特气管道系统 spe---l gas pipeline system 是指sih4,nf3,cl2 等一些具有高危险性,应---安全性的特气。公司提供从供气系统;排气处理、监视系统的综合管理系统;建立以安全为第i一的特气管理输送系统。提供设计、选型、制造、安装、测试、调试和系统托管服务等整体解决方案。
特种气体是光电子、微电子等领域,---是---规模集成电路、液晶显示器件、非晶硅薄膜太阳能电池、半导体发光器件和半导体材料制造过程不可缺少的基础性支撑源材料。它的纯度和洁净度直接影响到光电子、微电子元器件的、集成度、特定技术指标和成品率,并从---上制约着电路和器件的精i确性和准确性。
工程项目覆盖半导体、集成电路、平板显示、光电、汽车、新能源、纳米、光纤、微电子、石油化工、生物医i药、各类实验室、研究所、标准检测等---行业;为客户提供高纯介质输送系统全套解决方案;逐步成为行业领i先的整体系统供应商。

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