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各种气体配管配件要求
在半导体体行业线宽越做越小,其对气体纯度、颗粒度、杂质含量、露i点的要求也越来越高。
高纯氮气(pn2):系统管道采用内壁电解抛光(ep)低碳(316l)不锈钢管,阀门采用相同材质的波纹管阀或隔膜阀。
氮气(n2):系统管道采用内壁电解抛光(ep)低碳(316l)不锈钢管或光亮退火(ba)低碳(316l)不锈钢管,阀门采用相同材质的波纹管阀或球阀。
高纯氢气(ph2)氢气(h2):系统管道采用内壁电解抛光(ep)低碳(316l)不锈钢管,阀门采用相同材质的波纹管阀或隔膜阀。(ar):系统管道采用内壁电解抛光(ep)低碳(316l)不锈钢管,阀门采用相同材质的波纹管阀或隔膜阀。
---气(he):系统管道采用内壁电解抛光(ep)低碳(316l不锈钢管)阀门采用相同材质的波纹管阀或隔膜阀。
特气系统:---的还需做双套管:外管酸洗钝化(ap)处理,内管电解抛光(ep),阀门采用相同材质的波纹管阀或隔膜阀。
对于特殊气体来讲,气体品种多,有毒有害气体多,原来是一机台配一气柜,高昂的装备组合和维修费用---增加了投资成本,且有的还布置在工艺间内,存在着泄漏的安全---。现在广泛采用集中供气系统,气柜集中,自控系统不断完善,集中供气管道安装设计怎么样,其报警、喷淋、切换、吹扫多较为成熟,特气间也与工艺间隔离,集中供气管道安装设计,并对房间有防爆要求,工作的安全性---提高。

气路系统百科知识
一、气瓶间。
1、钢瓶间的设计宜设在中心化验室的主入口侧,并应采取遮阳防晒措施,当钢瓶间与建筑物为一体时,隔墙应为钢筋混凝土防爆墙。
2、通风---,集中供气管道安装设计好不好,并具有足够的泄爆面积,室内地面应有防火花,防静电措施;
3、可燃气体钢瓶(h2,c2h2)与助燃气体钢瓶(o2)应隔开布置;
4、还应设立泄露报警系统。
二、色谱室。
1、中心化验室的管道应统筹规划、集中布置,集中供气管道安装设计怎么用,以便于安装、操作和检修为布置原则;
2、引入中心化验室的工艺管道总管应设切断阀,并根据需要设置压力表、温度计、流量计、过滤器和减压阀等。阀门或仪表宜设置在便于观察和检修的位置;
3、可燃易i爆气体如氢气、乙i炔、氧气等宜明线铺设;
4、管道宜集中布置并沿墙明设,且方便安装及检修;
5、使用钢瓶气管道的设备台应离墙布置,留出的维修空间不宜小于600mm;
6、氢气管道宜采用焊接连接,不应采用螺纹连接和使用闸阀。

气体管道工程施工组织都有哪些?
1.材料:根据图纸设计的参数要求,我们要准备相应材质的材料(管子、三通、弯头、阀门等)管径的大小,管壁的厚度以及相应的辅助材料(不常用数量少的材料要---注意)。
2.人员工具:根据施工工地的工作量,施工的工期配备相应的技工和相应的辅助工并配备相应的施工工具。做好工具的分类方便领用
3.机具:机具在施工过程中是不可缺少的,我们要根据施工的要求选择相应的机具,对机具操作人员进行相应的培训考核,以---对机具的正确使用。

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