苏州珂锐弘扬流体-集中供气管道安装设计

减压器的使用要点

(1) 使用前应确认减压器是完好的，并检查有无油脂污染，---是进口处的污物及灰尘等应及时清除。

(2) 检查气瓶是否有油脂污染，螺纹是否损坏，如发现有油脂或螺纹损坏，就不再使用该气瓶，并将这些情况通知供气单位，集中供气管道安装设计厂家，清除气瓶阀(---是阀口处)的油脂污染，集中供气管道安装设计，修复螺纹。

(3) 把减压器装到气瓶阀上，将输入输出接头拧紧。

(4) 打开气瓶阀前，先要把减压器调节螺杆逆时针方向旋到调节弹簧不受压力为止。

(5) 打开气瓶阀前，先不要站在减压器的正面或背面。气瓶阀应缓慢开启---压表指示出气瓶内压力。

(6) 顺时针方向旋转减压器调节螺杆使低压表达到所需的工作压力。如果太高应旋松调节螺杆，放出一部分气后重新调节。

(7) 当工作结束后，先关闭气瓶阀，然后打开设备上的阀把减压器内的气体全部排出。接着把刚才打开的阀门关好，逆时针方向旋转调节螺杆，一直到调节弹簧不受压为止。

(8) 减压器应妥善保存避免撞击振动，不要放在露天和有腐蚀性介质的地方。

(9) 减压器只能使用规定的气体。

各种气体配管配件要求

在半导体体行业线宽越做越小，其对气体纯度、颗粒度、杂质含量、露i点的要求也越来越高。

高纯氮气(pn2)：系统管道采用内壁电解抛光(ep)低碳(316l)不锈钢管，阀门采用相同材质的波纹管阀或隔膜阀。

氮气(n2)：系统管道采用内壁电解抛光(ep)低碳(316l)不锈钢管或光亮退火(ba)低碳(316l)不锈钢管，阀门采用相同材质的波纹管阀或球阀。

高纯氢气(ph2)氢气(h2)：系统管道采用内壁电解抛光(ep)低碳(316l)不锈钢管，阀门采用相同材质的波纹管阀或隔膜阀。(ar)：系统管道采用内壁电解抛光(ep)低碳(316l)不锈钢管，阀门采用相同材质的波纹管阀或隔膜阀。

---气(he)：系统管道采用内壁电解抛光(ep)低碳(316l不锈钢管)阀门采用相同材质的波纹管阀或隔膜阀。

特气系统：---的还需做双套管：外管酸洗钝化(ap)处理，内管电解抛光(ep)，阀门采用相同材质的波纹管阀或隔膜阀。

对于特殊气体来讲，集中供气管道安装设计好不好，气体品种多，有毒有害气体多，原来是一机台配一气柜，高昂的装备组合和维修费用---增加了投资成本，且有的还布置在工艺间内，存在着泄漏的安全---。现在广泛采用集中供气系统，气柜集中，自控系统不断完善，其报警、喷淋、切换、吹扫多较为成熟，特气间也与工艺间隔离，并对房间有防爆要求，工作的安全性---提高。