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各种气体配管配件要求
在半导体体行业线宽越做越小,其对气体纯度、颗粒度、杂质含量、露i点的要求也越来越高。
高纯氮气(pn2):系统管道采用内壁电解抛光(ep)低碳(316l)不锈钢管,阀门采用相同材质的波纹管阀或隔膜阀。
氮气(n2):系统管道采用内壁电解抛光(ep)低碳(316l)不锈钢管或光亮退火(ba)低碳(316l)不锈钢管,氮气管道怎么用,阀门采用相同材质的波纹管阀或球阀。
高纯氢气(ph2)氢气(h2):系统管道采用内壁电解抛光(ep)低碳(316l)不锈钢管,阀门采用相同材质的波纹管阀或隔膜阀。(ar):系统管道采用内壁电解抛光(ep)低碳(316l)不锈钢管,氮气管道厂商,阀门采用相同材质的波纹管阀或隔膜阀。
---气(he):系统管道采用内壁电解抛光(ep)低碳(316l不锈钢管)阀门采用相同材质的波纹管阀或隔膜阀。
特气系统:---的还需做双套管:外管酸洗钝化(ap)处理,内管电解抛光(ep),阀门采用相同材质的波纹管阀或隔膜阀。
对于特殊气体来讲,气体品种多,有毒有害气体多,氮气管道报价,原来是一机台配一气柜,高昂的装备组合和维修费用---增加了投资成本,且有的还布置在工艺间内,存在着泄漏的安全---。现在广泛采用集中供气系统,气柜集中,自控系统不断完善,其报警、喷淋、切换、吹扫多较为成熟,特气间也与工艺间隔离,并对房间有防爆要求,工作的安全性---提高。

洁净车间高纯气体管道的安装、施工?
洁净厂房中的气体管道是指气体压力小于等于0.8mpa的氢气、氧气、氮气、压缩空气、燃气等一般气体和高纯气体管道及真空管道,其具体的安装要求可参考<洁净室施工及验收规范>(jgj 71-1990)的有关规定。高纯气体是指其气体纯度大于等于99.9995%,含水量小于5×10-4%的气体。
高纯度、高洁净气体管道的施工不同于一般工业管道,稍有疏忽便可能破坏气体的。因此,要理解安装气体的重大意义、要求严格遵守设计、施工要求,工作严肃认真、一丝不苟,高度重视各个细小环节,建成符合要求的管路系统。要求做到以下几个方面:
1.外观的检查工作
(1)管道系统的管材、阀门及所有附件,严格设计要求选用,氮气管道,不得随意更改或代换。
(2)所有管材应放在室内---保管,不得露天堆放、日晒和雨淋。
(3)管段端头要用塑料或橡胶密封罩加以密封,不得脱落、破i裂。
(4)管子、管件、阀门等使用前,详细进行下列外观检查:
1)无裂纹、缩孔、折叠、重皮等缺陷。
2)无锈蚀、蚀斑等现象。
3)管子平直、圆滑,无局部凹陷,无刮伤、挤压等缺陷。
4)管材内表面的“粗糙度”是否符合设计要求,螺纹处密封、保护是否---。
5)外购成品“内表面超光滑洁净管”要有出厂合格证及相关等i级i---和资i质证明。应随机抽样做显微镜下检验,必须符合设计要求。
6)检查成品“内表面超光滑洁净管”的外包装和相应管端头的管帽、堵头等密封措施是否符合要求。
7)法兰的密封面应当平整、光滑,不得有毛刺及径向沟槽,凹凸法兰应当能够自然嵌合,凸面的高度不得低于凹槽的---。
8)橡胶、塑料等非金属垫片,应当质地柔软、无老化及分层现象,表面不得有折损、皱i纹等现象。金属垫片的加工尺寸、精度、厚度、表面粗糙度、硬度、厚度等均要符合要求,表面不得有裂纹、毛刺、凹槽、径向划痕和锈斑等缺陷。

气体管道安装
法兰联接
适用的管道直径范围较大。联接时根据气体的性质、压力和温度选用不同的法兰和密封垫片,利用螺栓夹紧垫片保持密封。在需要经常拆装的管段处和管道与设备相联接的地方,大都采用法兰联接。
按法兰与管子的连接方式分为以下五种基本类型:螺纹法兰、平焊法兰、对焊法兰、承插焊法兰、松套法兰。
承插联接
主要用于铸铁管、混凝土管、陶土管及其联接件之间的联接,只适用于在低压常温条件下工作的给水、排水和煤气管道。联接时,一般在承插口的槽内先填入麻丝、棉线或石棉绳,然后再用石棉水泥或铅等材料填实,还可在承插口内填入橡胶密封环,使其具有较好的柔性,容许管子有少量的移动。

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