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实验室气体的供气方式

　　采用中压供气，二级减压的供气方式，气瓶气体压力为12.5mpa，经一级减压后为1mpa（管路压力1mpa），送至用气点，经二级减压后为0.3——0.5 mpa（根据仪器需求）送至仪器，供气压力比较稳定。

　　实验室气体管道的材质要求

　　（1）对所有气体无渗透性

　　（2）吸附效应很少

　　（3）对所输送的气体呈化学惰性

　　（4）能快速使输送的气体达到平衡

　　注：化学物质腐蚀影响等级 a—没有影响 b—轻微影响 c—中度影响 d—---影响

　　316不锈钢是继304不锈钢之后，第二个得到广泛应用的钢种，具有较好的耐腐蚀性，耐高温，强度优i秀等特点，真空管道安装，所以我们一直用    316无缝不锈钢管。

各种气体配管配件要求

在半导体体行业线宽越做越小，其对气体纯度、颗粒度、杂质含量、露i点的要求也越来越高。

高纯氮气(pn2)：系统管道采用内壁电解抛光(ep)低碳(316l)不锈钢管，阀门采用相同材质的波纹管阀或隔膜阀。

氮气(n2)：系统管道采用内壁电解抛光(ep)低碳(316l)不锈钢管或光亮退火(ba)低碳(316l)不锈钢管，阀门采用相同材质的波纹管阀或球阀。

高纯氢气(ph2)氢气(h2)：系统管道采用内壁电解抛光(ep)低碳(316l)不锈钢管，阀门采用相同材质的波纹管阀或隔膜阀。(ar)：系统管道采用内壁电解抛光(ep)低碳(316l)不锈钢管，阀门采用相同材质的波纹管阀或隔膜阀。

---气(he)：系统管道采用内壁电解抛光(ep)低碳(316l不锈钢管)阀门采用相同材质的波纹管阀或隔膜阀。

特气系统：---的还需做双套管：外管酸洗钝化(ap)处理，真空管道安装怎么样，内管电解抛光(ep)，阀门采用相同材质的波纹管阀或隔膜阀。

对于特殊气体来讲，气体品种多，有毒有害气体多，原来是一机台配一气柜，高昂的装备组合和维修费用---增加了投资成本，且有的还布置在工艺间内，存在着泄漏的安全---。现在广泛采用集中供气系统，气柜集中，自控系统不断完善，其报警、喷淋、切换、吹扫多较为成熟，真空管道安装价格，特气间也与工艺间隔离，并对房间有防爆要求，工作的安全性---提高。