珂锐弘扬流体控制系统-氮气管道哪里有-氮气管道

特气管道工程

　　特气就是特种气体，指那些在特定领域中应用的， 对气体有特殊要求的纯气、高纯气或由高纯单质气体配制的二元或多元混合气。特种气体门类繁多，氮气管道厂家， 通常可区分为电子气体、标准气、气、气、焊接气、杀菌气等， 广泛用于电子、电力、石油化工、采i矿、钢铁、有色金属冶炼、热力工程、生化、环境监测、医学研究及诊断、食品保鲜等领域。区别于我们呼吸的空气（含21%氧，氮气管道厂商，78%氮，1%水、---等），其纯度一般在99.99%（4n）以上。

　　特气管道施工一般分为主系统，二次配主系统，根据客户要求有气源送到用气点附近的管道一般没有什么危险，只要根据客户要求按照规范去施工，二次配管vmb阀箱预留阀到机台接点之间的管道施工，一般都会在无尘室进行，二次配管的危险在于主通道已经通上气体介质，我们在无尘室施工，要在客户---的陪同下进行，氮气管道哪里有，对于无尘室的阀门及类似阀门的开关，不要乱动，无尘室都会安装气体探头和气体泄露报警装置，一旦有气体泄露，我们应丢下手中任何工作，通过安全指示撤出无尘室。

高纯气体配管及附件材质的选择

选用渗透性小、出气速率低、吸附性差的材料。目前---规模集成电路前工序高纯气体输送系统管道材料采用不锈钢光亮退火管（ss304ba、ss316ba）、不锈钢电抛光管（ss316l-ep）等，但是对要求控制高纯气体中总杂质含量≤1.01.0×10－6及以下的管材应用ss316l-ep管。

注：管路型式以气体特性设计，惰性气体使用一般的单层管，作为制程用的反应气体，则选用高i级别的ss316l-ep管；使用与芯片接触但不参与制程反应的气体则选用ss316l-ba管。

对于自燃爆i炸，有剧i毒的特种气体，如sih4、ph3、ash3等则考虑使用双套管，它的内/外管材质一般为ss316l-ep/ss316l-ap，此设计的主要目的有两点，首先可保护内管直接受到外力撞击，其次能将由内管渗漏的气体阻绝于外管，并利用相关的检测设备检测，目前常用的设计有正压和负压两种方式，负压设计是将内外管间---真空，正压设计则是灌以氮气维持正压，两者皆可接上压力表或者压力警报器检知泄漏状态。

通常采用的方法有机械喷砂、化学溶液清洗、化学抛光、电抛光等，目前广泛应用的管材有光亮退火管和电抛光管。