气体管道颜色-珂锐弘扬-江苏气体管道

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    2023-10-6

王总
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各种气体配管配件要求

在半导体体行业线宽越做越小,其对气体纯度、颗粒度、杂质含量、露i点的要求也越来越高。

高纯氮气(pn2):系统管道采用内壁电解抛光(ep)低碳(316l)不锈钢管,阀门采用相同材质的波纹管阀或隔膜阀。

氮气(n2):系统管道采用内壁电解抛光(ep)低碳(316l)不锈钢管或光亮退火(ba)低碳(316l)不锈钢管,阀门采用相同材质的波纹管阀或球阀。

高纯氢气(ph2)氢气(h2):系统管道采用内壁电解抛光(ep)低碳(316l)不锈钢管,阀门采用相同材质的波纹管阀或隔膜阀。(ar):系统管道采用内壁电解抛光(ep)低碳(316l)不锈钢管,阀门采用相同材质的波纹管阀或隔膜阀。

---气(he):系统管道采用内壁电解抛光(ep)低碳(316l不锈钢管)阀门采用相同材质的波纹管阀或隔膜阀。

特气系统:---的还需做双套管:外管酸洗钝化(ap)处理,内管电解抛光(ep),阀门采用相同材质的波纹管阀或隔膜阀。

对于特殊气体来讲,气体品种多,有毒有害气体多,原来是一机台配一气柜,高昂的装备组合和维修费用---增加了投资成本,且有的还布置在工艺间内,存在着泄漏的安全---。现在广泛采用集中供气系统,气柜集中,自控系统不断完善,其报警、喷淋、切换、吹扫多较为成熟,特气间也与工艺间隔离,并对房间有防爆要求,工作的安全性---提高。









高纯气体管路的设计要点:

1.对于不同特性的气体,要规划独立的供应区域,一般分为三个区:腐蚀性/毒性气体区、可燃性气体区、惰性气体区,将相同性质的气体集中加强管理,可燃性气体区要---规划防爆墙与泄漏口,若空间不足,可考虑将惰性气体放置与毒性/腐蚀性气体区。

2.管路设计需要考虑输送的距离,距离越长,成本越高,风险也越高,通常较合理的设计流速为20ml/s,可燃性气体小于10ml/s,毒性/腐蚀性气体小于8ml/s,在用量设计方面,气体管道温差,则需要考虑使用点的压力和管径大小,前者与气体特性有关,后者使用点的管径一般为1/4”~3/8”。

3.根据用气设备的分布情况,江苏气体管道,高纯气体的管网不宜过大或者过长;宜采用不封闭的环形管路,在系统末端连续不断排放少量的气体,以便在管网中总有高纯气体流通,不会发生“死空间”引起高纯气体的污染。

4.管路中应减少不流动气体的“死空间”,不应设有盲管,在特种气体的储气瓶与用气设备之间应设吹扫控制装置、多阀门控制装置、用以控制各个阀门的开关顺序、系统吹除,以---供气系统的安全、---运行和防止“死区”形成而滞留污染物,降低气体纯度。

5.对高纯气体纯度要求不同的用气设备,气体管道工程安装公司,宜采用分等级高纯气体输送系统;也可采用同等级输送系统,但是在纯度要求高的用气设备邻近处设末端气体提纯装置。

6.为了检测高纯气体的纯度和杂质含量,输送系统除了设置---的连续检测仪器,气体管道颜色,如衡量水含量或者氧杂质含量等分析仪外,还应设置定期取样用的检测采样口,以便按规定时间进行采样,分析高纯气体中各种杂质的含量。

7.在亚微米级的集成电路生产中,要求供应10-9级的高纯气体,为了---末端用气工艺设备处的气体纯度,使气体中的杂质含量(包括尘粒)控制在规定的数值内,一般在设备前设置末端纯化装置,或末端气体过滤器。









高纯气体管道工程的变温吸附法除水步骤有哪些?

1、用固体cacl2除水,水份可降低至0.1%(体积)以下;

2、用---洗涤除去高纯气体夹带的水份,为了除去高纯气体中的杂质水,资料表明工业上常用---洗涤除去高纯气体夹带的水份。在保持过程佳工艺的理想条件下,水份可降至0.01%(体积)以下;

3、采用冷冻法来脱除高纯气体中水,可降到600~1000ppm,夏季水份还要更多些;

4、jmt型干燥剂是一种含硅i铝比的丝光沸石型分子筛,具有---的热稳定性,除在300℃前有一脱水而引起明显吸热峰外,在900℃前无明显的分解峰,说明其晶格具有优良的稳定性。









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