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减压器的使用要点
(1) 使用前应确认减压器是完好的,并检查有无油脂污染,气体管道安装,---是进口处的污物及灰尘等应及时清除。
(2) 检查气瓶是否有油脂污染,螺纹是否损坏,如发现有油脂或螺纹损坏,就不再使用该气瓶,并将这些情况通知供气单位,清除气瓶阀(---是阀口处)的油脂污染,修复螺纹。
(3) 把减压器装到气瓶阀上,将输入输出接头拧紧。
(4) 打开气瓶阀前,先要把减压器调节螺杆逆时针方向旋到调节弹簧不受压力为止。
(5) 打开气瓶阀前,先不要站在减压器的正面或背面。气瓶阀应缓慢开启---压表指示出气瓶内压力。
(6) 顺时针方向旋转减压器调节螺杆使低压表达到所需的工作压力。如果太高应旋松调节螺杆,放出一部分气后重新调节。
(7) 当工作结束后,先关闭气瓶阀,然后打开设备上的阀把减压器内的气体全部排出。接着把刚才打开的阀门关好,逆时针方向旋转调节螺杆,一直到调节弹簧不受压为止。
(8) 减压器应妥善保存避免撞击振动,不要放在露天和有腐蚀性介质的地方。
(9) 减压器只能使用规定的气体。

连接方式:
1)焊接。高纯、高洁净气体管道,原则上采用焊接,但不能直接对焊,应采用套管接头。
a不锈钢管的焊接:采用argon arc welding,同时管内通入同等纯度的ar,防止焊接部位氧化。
b钢管的焊接:采用40%银焊条,氮气保护焊,管内通入工艺气体同等纯度的氮气。但要注意,气体管道安装哪里好,一旦氮气中断或氮气纯度下降,会在焊口附近生成铜的氧化物,产生浸润表面的可能性。所以,当铜管焊接完毕后,要用浸渍丙i酮的纱布来回擦拭管内,消除焊接处可能产生的氧化物。
2)螺纹连接。螺纹连接的气密性不如焊接的好,不适用于高纯、高洁净气体管路连接。螺纹连接使用的密封填料残渣有带入气体的危险,而且内外螺纹旋紧时,金属间的摩擦会产生金属粉尘粒子,污染气体。如确实---,应在铜与铜、铜与铜合金附件螺纹连接时,在外螺纹上均匀地挂上一定量的焊条,提高密封效果,尽可能减少金属粉尘。
3)法兰连接。螺纹或法兰连接处的密封材料应采用聚四氯i乙烯,为---密封效果,在垫片上涂敷少量氟橡胶(白色、室温固化)。
(3)管路附件的使用:
1)管路附件的材质的选用原则应与管材的选用原则一致。
2)在采用铜材的管路系统中,可以使用不锈钢材质的管道附件;但在不锈钢材质的管路系统中,气体管道安装厂商,不容使用铜制材料的管道附件。

高纯气体管道配管
所有高纯度、高洁净的气体均需通过管路输送到设备用点(pou),为了达到工艺对气体的要求,在气体出口指标一定的情况下,则更需重视配管系统的材料选用和施工。除取决于制气或净化设备的精度外,在很大程度上受到管路系统诸多因素的影响,因此,管材的选取应恪守相关行业原则,并在图纸中注明管道材质。
管路的材质则依使用的需求进行选择,若为制程用的反应气体则选择---级的316l ep管,经电解拋光(electro-polish)处理,耐腐蚀,表面粗糙度低,rmax(maximum peak to valleyht=)约为0.3μm以下,气体管道安装供应,其值远低于经过光辉烧结(bright anneal)处理之316l ba管的0.8μm,因平整度越高越不容易形成微涡流,而将污染粒子带出。316l ba管则常使用于和芯片接触但不参与制程反应的气体,如gn2、cda。管内表面粗糙度是衡量管材的标准。粗糙度越低,其颗粒携带可能性---降低。另一种未经特殊处理的ap管(annealing & picking),则用于不做为供气管路的双套外管。

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