气体减压器-苏州珂锐弘扬-气体减压器厂家

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    2023-10-28

王总
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各种气体配管配件要求

在半导体体行业线宽越做越小,其对气体纯度、颗粒度、杂质含量、露i点的要求也越来越高。

高纯氮气(pn2):系统管道采用内壁电解抛光(ep)低碳(316l)不锈钢管,阀门采用相同材质的波纹管阀或隔膜阀。

氮气(n2):系统管道采用内壁电解抛光(ep)低碳(316l)不锈钢管或光亮退火(ba)低碳(316l)不锈钢管,阀门采用相同材质的波纹管阀或球阀。

高纯氢气(ph2)氢气(h2):系统管道采用内壁电解抛光(ep)低碳(316l)不锈钢管,阀门采用相同材质的波纹管阀或隔膜阀。(ar):系统管道采用内壁电解抛光(ep)低碳(316l)不锈钢管,气体减压器供应商,阀门采用相同材质的波纹管阀或隔膜阀。

---气(he):系统管道采用内壁电解抛光(ep)低碳(316l不锈钢管)阀门采用相同材质的波纹管阀或隔膜阀。

特气系统:---的还需做双套管:外管酸洗钝化(ap)处理,内管电解抛光(ep),阀门采用相同材质的波纹管阀或隔膜阀。

对于特殊气体来讲,气体品种多,有毒有害气体多,原来是一机台配一气柜,高昂的装备组合和维修费用---增加了投资成本,且有的还布置在工艺间内,存在着泄漏的安全---。现在广泛采用集中供气系统,气柜集中,自控系统不断完善,其报警、喷淋、切换、吹扫多较为成熟,特气间也与工艺间隔离,气体减压器,并对房间有防爆要求,工作的安全性---提高。









气体管道安装

法兰联接

适用的管道直径范围较大。联接时根据气体的性质、压力和温度选用不同的法兰和密封垫片,利用螺栓夹紧垫片保持密封。在需要经常拆装的管段处和管道与设备相联接的地方,大都采用法兰联接。

按法兰与管子的连接方式分为以下五种基本类型:螺纹法兰、平焊法兰、对焊法兰、承插焊法兰、松套法兰。

承插联接

主要用于铸铁管、混凝土管、陶土管及其联接件之间的联接,只适用于在低压常温条件下工作的给水、排水和煤气管道。联接时,一般在承插口的槽内先填入麻丝、棉线或石棉绳,然后再用石棉水泥或铅等材料填实,还可在承插口内填入橡胶密封环,气体减压器报价,使其具有较好的柔性,容许管子有少量的移动。









连接方式:

1)焊接。高纯、高洁净气体管道,原则上采用焊接,但不能直接对焊,应采用套管接头。

a不锈钢管的焊接:采用argon arc welding,同时管内通入同等纯度的ar,防止焊接部位氧化。

b钢管的焊接:采用40%银焊条,气体减压器厂家,氮气保护焊,管内通入工艺气体同等纯度的氮气。但要注意,一旦氮气中断或氮气纯度下降,会在焊口附近生成铜的氧化物,产生浸润表面的可能性。所以,当铜管焊接完毕后,要用浸渍丙i酮的纱布来回擦拭管内,消除焊接处可能产生的氧化物。

2)螺纹连接。螺纹连接的气密性不如焊接的好,不适用于高纯、高洁净气体管路连接。螺纹连接使用的密封填料残渣有带入气体的危险,而且内外螺纹旋紧时,金属间的摩擦会产生金属粉尘粒子,污染气体。如确实---,应在铜与铜、铜与铜合金附件螺纹连接时,在外螺纹上均匀地挂上一定量的焊条,提高密封效果,尽可能减少金属粉尘。

3)法兰连接。螺纹或法兰连接处的密封材料应采用聚四氯i乙烯,为---密封效果,在垫片上涂敷少量氟橡胶(白色、室温固化)。

(3)管路附件的使用:

1)管路附件的材质的选用原则应与管材的选用原则一致。

2)在采用铜材的管路系统中,可以使用不锈钢材质的管道附件;但在不锈钢材质的管路系统中,不容使用铜制材料的管道附件。









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