气体管道安装-苏州珂锐弘扬-气体管道安装

高纯气体配管及附件材质的选择

选用渗透性小、出气速率低、吸附性差的材料。目前---规模集成电路前工序高纯气体输送系统管道材料采用不锈钢光亮退火管（ss304ba、ss316ba）、不锈钢电抛光管（ss316l-ep）等，但是对要求控制高纯气体中总杂质含量≤1.01.0×10－6及以下的管材应用ss316l-ep管。

注：管路型式以气体特性设计，惰性气体使用一般的单层管，作为制程用的反应气体，则选用高i级别的ss316l-ep管；使用与芯片接触但不参与制程反应的气体则选用ss316l-ba管。

对于自燃爆i炸，有剧i毒的特种气体，如sih4、ph3、ash3等则考虑使用双套管，它的内/外管材质一般为ss316l-ep/ss316l-ap，此设计的主要目的有两点，首先可保护内管直接受到外力撞击，其次能将由内管渗漏的气体阻绝于外管，并利用相关的检测设备检测，目前常用的设计有正压和负压两种方式，负压设计是将内外管间---真空，正压设计则是灌以氮气维持正压，两者皆可接上压力表或者压力警报器检知泄漏状态。

通常采用的方法有机械喷砂、化学溶液清洗、化学抛光、电抛光等，目前广泛应用的管材有光亮退火管和电抛光管。

工业气体管道压力试验方法

气体管道压力试验方法

管道系统安装完毕后，为了检查管道系统的强度和严密性及---安装，

应对管道系统进行压力试验。

试压的一般规定

1管道试压前应全i面检查、核对已安装的管子、管件、阀门、紧固件以及支架等，应符合设计要求及技术规范的规定。

2管道试压应编制试验方案，根据工作压力分系统进行试压。一般对于同向---的无压管线，如放空管、排液管等可不进行试压。

3试压前将不能与管道一起试压的设备及压力系统不同的管道系统用盲板隔离，应将不宜与管道系统一起试压的管道附件拆除。临时装上短管4管道上所有开口应封闭，系统内的阀门应开启。

5试压时，气体管道安装，应用精度等级1.5级以上的压力标2只，表的量程应为测压力的1.5~2倍，一只装在试压泵出口，另一只装在本系统压力

波动较小的其他位置。

6试压时应将压力缓慢升至试验压力，并注意观察管道各部分情况，如发现问题，气体管道安装，应卸压后进行修理，禁止带压修理。缺陷消除后重新试压。

7当进行压力试验时，应划定禁区，无关人员不能进入，气体管道安装，防止---。

8对于剧i毒管道及设计压力p***10mpa管道，压力试验前应按规范要求将各项资料经设计单位复查，确认无误。

9试压方案已经过批准，且进行了技术交底。

10管道系统试验合格后，应及时填写“管道系统压力试验记录”，有关人员签字确认。