气体管道-苏州珂锐弘扬-气体管道系统

高纯气体配管及附件材质的选择

选用渗透性小、出气速率低、吸附性差的材料。目前---规模集成电路前工序高纯气体输送系统管道材料采用不锈钢光亮退火管（ss304ba、ss316ba）、不锈钢电抛光管（ss316l-ep）等，但是对要求控制高纯气体中总杂质含量≤1.01.0×10－6及以下的管材应用ss316l-ep管。

注：管路型式以气体特性设计，惰性气体使用一般的单层管，作为制程用的反应气体，则选用高i级别的ss316l-ep管；使用与芯片接触但不参与制程反应的气体则选用ss316l-ba管。

对于自燃爆i炸，有剧i毒的特种气体，气体管道，如sih4、ph3、ash3等则考虑使用双套管，它的内/外管材质一般为ss316l-ep/ss316l-ap，此设计的主要目的有两点，首先可保护内管直接受到外力撞击，其次能将由内管渗漏的气体阻绝于外管，并利用相关的检测设备检测，目前常用的设计有正压和负压两种方式，负压设计是将内外管间---真空，正压设计则是灌以氮气维持正压，两者皆可接上压力表或者压力警报器检知泄漏状态。

通常采用的方法有机械喷砂、化学溶液清洗、化学抛光、电抛光等，气体管道设计，目前广泛应用的管材有光亮退火管和电抛光管。

实验室气体管道工程

实验室供气系统气体管路

气体管路指气瓶至仪器终端之间连接管线，一般有气体切换装置-减压装置-阀门-管线-过滤器-报警器-终端箱-调节阀等部分组成，输送气体为实验室仪器(色谱、原子吸收等)用气、高纯气体。

使用的气瓶和备用气瓶之间有一个半自动调节阀来控制。所有气体管路都是高的、完全退火、无缝不锈钢ss-316l。所有氧气管路都需完全清理干净，气体管道颜色，使其适合氧气使用。气体管路需要有安全压力释放阀门、压力调节阀门、压力表来指示气体压力。

实验供气系统易i燃易i爆气体使用安全注意事项

1.易i燃易i爆气体：此类气体只要形成了可燃气体爆i炸混合气和达到着火温度。便会发生燃烧爆i炸事故因此在可燃气体入口处、气体钢瓶存放间、洁净室

内使用可燃气体处、敷设可燃气体的管廊或技术夹层以及可能---可燃气体的场所均应设置可燃气体报警装置。具体要求如下：

可燃气体比空气轻者，报警装置设置在所处场所的顶部。

可燃气体比空气重者，报警装置设置在所处场所的较低处。

可燃气体的报警装置应与相应的事故排风装置设电气连锁，当空气中的可燃气体浓度达到规定值时，事故排风装置自动开启，同时向洁净厂房的消防安全值班室发出报警信号。

为防止倒流回火应在用气设备的支管上设置阻火器，气体管道系统，在排入---的排气管道上，为防止排气时突遇雷电袭i击阻止火焰蔓延至可燃气体管道引发燃烧爆i炸事故，必须在排气管道上设置阻火器。

可燃气体在适当的管道处应做接地，但接地电阻应符合相关规定。

各种可燃气体管道系统均应设置能引入氮气等惰性气体的接口及相应的检测口，以便在可燃气体供应系统使用前后或检修动火前后对其系统进行吹扫置换，但是惰性气体吹扫接口在正常运行中不能与气体钢瓶或惰性气体管道相通，以避免影响气体。