珂锐弘扬流体控制系统-气体管道颜色-吴江区气体管道

高纯气体管道配管

所有高纯度、高洁净的气体均需通过管路输送到设备用点(pou)，为了达到工艺对气体的要求，在气体出口指标一定的情况下，则更需重视配管系统的材料选用和施工。除取决于制气或净化设备的精度外，在很大程度上受到管路系统诸多因素的影响，因此，管材的选取应恪守相关行业原则，气体管道颜色，并在图纸中注明管道材质。

管路的材质则依使用的需求进行选择，若为制程用的反应气体则选择---级的316l ep管，经电解拋光(electro-polish)处理，耐腐蚀，表面粗糙度低，rmax(maximum peak to valleyht=)约为0.3μm以下，其值远低于经过光辉烧结(bright anneal)处理之316l ba管的0.8μm，因平整度越高越不容易形成微涡流，而将污染粒子带出。316l ba管则常使用于和芯片接触但不参与制程反应的气体，气体管道材质，如gn2、cda。管内表面粗糙度是衡量管材的标准。粗糙度越低，其颗粒携带可能性---降低。另一种未经特殊处理的ap管(annealing & picking)，则用于不做为供气管路的双套外管。

实验室气体工程安装注意事项

　　（1） 管径为1/8的管路很细且特软，吴江区气体管道，安装后不直，气体管道种类，很不美观，建议管径为1/8的全部换成1/4，在二级减压器末端加一变径就可以了。

　　（2） 氮气，ar，压缩空气，---气，甲i烷，氧气的已经减压器压力表量程为0—25mpa，二级减压器为0—1.6 mpa。乙i炔一级减压器量程为0—4 mpa，二级减压器为0—0.25 mpa。

　　（3） 氮气，ar，压缩空气，---气，氧气钢瓶接头共用氢气钢瓶接头分两种，一是正转钢瓶接头，另一是反转。---瓶用的是反转，小气瓶用的是正转。

　　（4） 气体管路每隔1.5m设一管子固定件弯曲处及阀门两端都应设固定件。

　　（5） 气体管路应沿墙明设，以便安装维护。