管道工程厂家-管道工程-苏州珂锐弘扬

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    2023-12-5

王总
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实验室气体管道安装

实验室气体管路要求

1、所有气体管路都由高的、完全退火型、无缝连接的不锈钢管组成。铜管只使用在气体管路的末端,对气体纯度要求不是太严格的地方。(比如通风柜)。

2、气体管道不得和电缆、导电线路同架铺设。

3、易i燃气体,管道工程,如乙i炔需要和其他气体分开单独引入。氢气管道若与其他可燃气体管道平行敷设时,其间距不应小于0.5m;交叉敷设时间距不应小于0.25m。分层敷设时氢气管道应位于上方。

4、压缩空气在管路上有过滤杂质和水分的净化装置,此净化装置需要并联一路,管道工程,用单独的阀门隔离,以方便对过滤装置进行维修。

5、高纯气体管路的连接为无缝焊接。连接到阀门或调节装置时才可以使用接头配件。

6、 每个实验室都要有单独的控制阀、减压阀和压力表。

7、引到工作台的气体管路要安装单独的控制阀。工作台上要均匀排放各种气体的控制阀门。在---气管路前面建议安装气体净化装置。

8、每隔1.5米左右,气体管路就需要有支架。另外根据气体管路弯曲的半径,设置合适的支架位置。所有弯曲处都要有支撑。气体管路所有的支架都要进行镀锌防腐处理。

9、不锈钢管件在现场安装时方可启封,启封后均要适用5n的高纯气体吹扫后才能接入系统。整个系统安装完成后,还要再使用5n的高纯氮气进行大流量吹扫,以---整个系统的洁净度。

10、供气系统安装完成后,根据要求进行相关的强度测试、密封测试和稳定性测试。


实验室气体管路安装检验

实验室承包商要---气体管路系统的清洁,所有气体管路的检验根据标准程序。气体管路要做压力检验,防止管路泄漏。









实验室气体工程安装注意事

  (1) 管径为1/8的管路很细且特软,安装后不直,很不美观,建议管径为1/8的全部换成1/4,在二级减压器末端加一变径就可以了。

  (2) 氮气,ar,压缩空气,---气,管道工程公司,甲i烷,氧气的已经减压器压力表量程为0—25mpa,二级减压器为0—1.6 mpa。乙i炔一级减压器量程为0—4 mpa,二级减压器为0—0.25 mpa。

  (3) 氮气,ar,压缩空气,管道工程厂家,---气,氧气钢瓶接头共用氢气钢瓶接头分两种,一是正转钢瓶接头,另一是反转。---瓶用的是反转,小气瓶用的是正转。

  (4) 气体管路每隔1.5m设一管子固定件弯曲处及阀门两端都应设固定件。

  (5) 气体管路应沿墙明设,以便安装维护。









高纯气体管道配管

所有高纯度、高洁净的气体均需通过管路输送到设备用点(pou),为了达到工艺对气体的要求,在气体出口指标一定的情况下,则更需重视配管系统的材料选用和施工。除取决于制气或净化设备的精度外,在很大程度上受到管路系统诸多因素的影响,因此,管材的选取应恪守相关行业原则,并在图纸中注明管道材质。

管路的材质则依使用的需求进行选择,若为制程用的反应气体则选择---级的316l ep管,经电解拋光(electro-polish)处理,耐腐蚀,表面粗糙度低,rmax(maximum peak to valleyht=)约为0.3μm以下,其值远低于经过光辉烧结(bright anneal)处理之316l ba管的0.8μm,因平整度越高越不容易形成微涡流,而将污染粒子带出。316l ba管则常使用于和芯片接触但不参与制程反应的气体,如gn2、cda。管内表面粗糙度是衡量管材的标准。粗糙度越低,其颗粒携带可能性---降低。另一种未经特殊处理的ap管(annealing & picking),则用于不做为供气管路的双套外管。









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