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高纯气体管路的设计要点:
1.对于不同特性的气体,要规划独立的供应区域,一般分为三个区:腐蚀性/毒性气体区、可燃性气体区、惰性气体区,将相同性质的气体集中加强管理,可燃性气体区要---规划防爆墙与泄漏口,若空间不足,可考虑将惰性气体放置与毒性/腐蚀性气体区。
2.管路设计需要考虑输送的距离,距离越长,成本越高,风险也越高,通常较合理的设计流速为20ml/s,可燃性气体小于10ml/s,毒性/腐蚀性气体小于8ml/s,在用量设计方面,则需要考虑使用点的压力和管径大小,前者与气体特性有关,后者使用点的管径一般为1/4”~3/8”。
3.根据用气设备的分布情况,高纯气体的管网不宜过大或者过长;宜采用不封闭的环形管路,在系统末端连续不断排放少量的气体,以便在管网中总有高纯气体流通,不会发生“死空间”引起高纯气体的污染。
4.管路中应减少不流动气体的“死空间”,气体管道,不应设有盲管,在特种气体的储气瓶与用气设备之间应设吹扫控制装置、多阀门控制装置、用以控制各个阀门的开关顺序、系统吹除,气体管道系统,以---供气系统的安全、---运行和防止“死区”形成而滞留污染物,降低气体纯度。
5.对高纯气体纯度要求不同的用气设备,宜采用分等级高纯气体输送系统;也可采用同等级输送系统,但是在纯度要求高的用气设备邻近处设末端气体提纯装置。
6.为了检测高纯气体的纯度和杂质含量,输送系统除了设置---的连续检测仪器,如衡量水含量或者氧杂质含量等分析仪外,还应设置定期取样用的检测采样口,以便按规定时间进行采样,分析高纯气体中各种杂质的含量。
7.在亚微米级的集成电路生产中,要求供应10-9级的高纯气体,为了---末端用气工艺设备处的气体纯度,使气体中的杂质含量(包括尘粒)控制在规定的数值内,一般在设备前设置末端纯化装置,或末端气体过滤器。

气体减压阀是气动调节阀的---配件
高纯气体管道工程介绍气体减压阀是一种自动降低管路工作压力的专门装置,它可将阀前管路较高的液体压力减少至阀后管路所需的水平。减压阀的构造类型很多,按结构形式可分为薄膜式、弹簧薄膜式、活塞式、杠杆式和波纹管式等。
气体减压阀是气动调节阀的一个---配件,主要作用是将气源的压力减压并稳定到一个定值,以便于调节阀能够获得稳定的气源动力用于调节控制,因此在操作过程中的清洁事项也要多加注意。
气体减压阀的阀杆,阀瓣,涡轮,手轮,气体管道选择,螺母,支架等滑动部位比较容易沾上很多灰尘,油污以及脏物等,对阀门会产生磨损和腐蚀,因此一定要---阀门的清洁度以及阀门油漆的的完整度。
阀门上的灰尘要用毛刷之类的打扫和压缩空气吹扫,螺纹螺母之类的地方要用抹布擦洗;阀门上的油污和记住残渣适于蒸汽吹扫,甚至用铜丝刷刷洗,知道加工面,配合面显出金属光泽,油漆面显出油漆本身为止。塑料蝶阀应该要有人专门负责,每班都要检查一次,定期打开冲洗阀进行冲洗,或定期拆卸冲洗,以免脏物堵塞阀门。
1、减压阀应存放在干燥的室内,通路两端必须用盲板堵塞,不准堆置存放。
2、长期存放的减压阀应定期检查,清洗污垢,在各运动部位及加工面上应涂以防锈剂,防止生锈。

气体管道工程流量太大调不小的原因与解决办法?
气体管道工程在实施时难免发生---小小的事情,如果不加以解决会影响整个工程的进展,甚至造成的损失,那么呢了解气体管道工程流量太大调不小的原因吗,当遇到这种问题又有哪些解决方法呢?
产生此类故障的原因有三种:
第i一,是流量计后气路有泄漏;
第二,是气路气阻太小;
第三,是流量控制阀件损坏。
实验室气体管道工程
其检查方法如下:
首先堵住检测器的气路出口,观察流量计中的转子是否可下降到零位。如不能降为零,需要考虑对漏气处进行检查,具体方法见气路泄漏的检查与排除;如转子可降到零位说明系统不漏气。
气体管道工程
此时应观察一---量调节阀转动时,气体管道设计,流量是否 有较大的变动,若有变动可适当增加气路气阻;若无变动则应怀疑阀件本身有问题,按照阀件的清洗部分处理。处理后的阀件应再装回原气路中进行控制试验。

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