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实验室气路改造设计有那些要求?
1、为了便于气瓶的更换,气瓶连接器和调节阀之间应设置耐高压金属软管。
2.为了防止整个系统回火,应安装防爆止回阀。
3.气体在进入使用点之前,为了便于控制气体开关,应提供一个使用点球阀。
4.为了保持气体的纯度和管道系统的气密性,所有管道均为316l不锈钢管道,内表面经ap处理。
5.为了便于阀门部件的维护和更换,氮气管道怎么样,管道与阀门部件之间的连接应采用高压双卡套接头连接。
6.管道固定部件(管夹)应由耐高温金属材料制成,并应牢固、轻便和---。
7.考虑到坚固、耐腐蚀、使用方便、外形美观等原因,氮气管道,调压阀的控制面板采用不锈钢制成。
8.为了---气体输出压力的稳定性和气体的纯度,选择了二级减压系统(即采用一级减压系统和二级减压系统,二级减压设备系统自带)。

气体管道安装
气体管道可能承受许多种外力的作用,包括本身的重量、气体作用在管端的推力、风雪载荷、土壤压力、热胀冷缩引起的热应力、振动载荷和地i震灾害等。为了---管道的强度和刚度,必须设置各种支(吊)架,如活动支架、固定支架、导向支架和弹簧支架等。支架的设置根据管道的直径、材质、管子壁厚和载荷等条件决定。固定支架用来分段控制管道的热伸长,使膨胀节均匀工作;导向支架使管子仅作轴向移动。
为了排除凝结水,蒸汽和其他含水的气体管道应有一定的坡度,一般不小于千分之二。对于利用重力流动的地下排水管道,坡度不小于千分之五。蒸汽或其他含水的气体管道在底端设置排水管或疏水阀,某些气体管道还设有气水分离器,以便及时排去水液,氮气管道厂商,防止管内产生水击和阻碍气体流动。给水或其他液体管道在顶端设有排气装置,排除积存在管道内的空气或其他气体,以防止气阻造成运行失常。管道如不能自由地伸缩,就会产生---的附加应力。因此,在温度变化较大的管道和需要有自由位移的常温管道上,需要设置膨胀节,使管道的伸缩得到补偿而消除附加应力的影响。对于蒸汽管道、高温管道、低温管道以及有防烫、防冻要求的管道,需要用保温材料包覆在管道外面,防止管内热(冷)量的损失或产生冻i结。常用的保温材料有水泥珍珠岩、玻璃棉、岩棉和石棉硅藻土等。

各种气体配管配件要求
在半导体体行业线宽越做越小,其对气体纯度、颗粒度、杂质含量、露i点的要求也越来越高。
高纯氮气(pn2):系统管道采用内壁电解抛光(ep)低碳(316l)不锈钢管,阀门采用相同材质的波纹管阀或隔膜阀。
氮气(n2):系统管道采用内壁电解抛光(ep)低碳(316l)不锈钢管或光亮退火(ba)低碳(316l)不锈钢管,阀门采用相同材质的波纹管阀或球阀。
高纯氢气(ph2)氢气(h2):系统管道采用内壁电解抛光(ep)低碳(316l)不锈钢管,阀门采用相同材质的波纹管阀或隔膜阀。(ar):系统管道采用内壁电解抛光(ep)低碳(316l)不锈钢管,阀门采用相同材质的波纹管阀或隔膜阀。
---气(he):系统管道采用内壁电解抛光(ep)低碳(316l不锈钢管)阀门采用相同材质的波纹管阀或隔膜阀。
特气系统:---的还需做双套管:外管酸洗钝化(ap)处理,内管电解抛光(ep),阀门采用相同材质的波纹管阀或隔膜阀。
对于特殊气体来讲,气体品种多,有毒有害气体多,原来是一机台配一气柜,高昂的装备组合和维修费用---增加了投资成本,氮气管道,且有的还布置在工艺间内,存在着泄漏的安全---。现在广泛采用集中供气系统,气柜集中,自控系统不断完善,其报警、喷淋、切换、吹扫多较为成熟,特气间也与工艺间隔离,并对房间有防爆要求,工作的安全性---提高。

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