气体管道安装供应商-气体管道安装-苏州珂锐弘扬流体控制

实验室气体工程安装注意事项

　　（1） 管径为1/8的管路很细且特软，安装后不直，很不美观，建议管径为1/8的全部换成1/4，在二级减压器末端加一变径就可以了。

　　（2） 氮气，ar，压缩空气，---气，甲i烷，气体管道安装供应商，氧气的已经减压器压力表量程为0—25mpa，二级减压器为0—1.6 mpa。乙i炔一级减压器量程为0—4 mpa，二级减压器为0—0.25 mpa。

　　（3） 氮气，ar，压缩空气，---气，气体管道安装，氧气钢瓶接头共用氢气钢瓶接头分两种，一是正转钢瓶接头，另一是反转。---瓶用的是反转，小气瓶用的是正转。

　　（4） 气体管路每隔1.5m设一管子固定件弯曲处及阀门两端都应设固定件。

　　（5） 气体管路应沿墙明设，以便安装维护。

高纯气体配管及附件材质的选择

选用渗透性小、出气速率低、吸附性差的材料。目前---规模集成电路前工序高纯气体输送系统管道材料采用不锈钢光亮退火管（ss304ba、ss316ba）、不锈钢电抛光管（ss316l-ep）等，但是对要求控制高纯气体中总杂质含量≤1.01.0×10－6及以下的管材应用ss316l-ep管。

注：管路型式以气体特性设计，惰性气体使用一般的单层管，作为制程用的反应气体，则选用高i级别的ss316l-ep管；使用与芯片接触但不参与制程反应的气体则选用ss316l-ba管。

对于自燃爆i炸，有剧i毒的特种气体，如sih4、ph3、ash3等则考虑使用双套管，它的内/外管材质一般为ss316l-ep/ss316l-ap，气体管道安装，此设计的主要目的有两点，首先可保护内管直接受到外力撞击，其次能将由内管渗漏的气体阻绝于外管，并利用相关的检测设备检测，目前常用的设计有正压和负压两种方式，负压设计是将内外管间---真空，正压设计则是灌以氮气维持正压，两者皆可接上压力表或者压力警报器检知泄漏状态。

通常采用的方法有机械喷砂、化学溶液清洗、化学抛光、电抛光等，目前广泛应用的管材有光亮退火管和电抛光管。