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高纯气体管路的设计要点:
1.对于不同特性的气体,要规划独立的供应区域,一般分为三个区:腐蚀性/毒性气体区、可燃性气体区、惰性气体区,将相同性质的气体集中加强管理,可燃性气体区要---规划防爆墙与泄漏口,若空间不足,可考虑将惰性气体放置与毒性/腐蚀性气体区。
2.管路设计需要考虑输送的距离,距离越长,成本越高,风险也越高,通常较合理的设计流速为20ml/s,可燃性气体小于10ml/s,毒性/腐蚀性气体小于8ml/s,在用量设计方面,则需要考虑使用点的压力和管径大小,前者与气体特性有关,后者使用点的管径一般为1/4”~3/8”。
3.根据用气设备的分布情况,高纯气体的管网不宜过大或者过长;宜采用不封闭的环形管路,在系统末端连续不断排放少量的气体,以便在管网中总有高纯气体流通,不会发生“死空间”引起高纯气体的污染。
4.管路中应减少不流动气体的“死空间”,不应设有盲管,在特种气体的储气瓶与用气设备之间应设吹扫控制装置、多阀门控制装置、用以控制各个阀门的开关顺序、系统吹除,以---供气系统的安全、---运行和防止“死区”形成而滞留污染物,氮气管道,降低气体纯度。
5.对高纯气体纯度要求不同的用气设备,宜采用分等级高纯气体输送系统;也可采用同等级输送系统,但是在纯度要求高的用气设备邻近处设末端气体提纯装置。
6.为了检测高纯气体的纯度和杂质含量,输送系统除了设置---的连续检测仪器,如衡量水含量或者氧杂质含量等分析仪外,还应设置定期取样用的检测采样口,以便按规定时间进行采样,分析高纯气体中各种杂质的含量。
7.在亚微米级的集成电路生产中,要求供应10-9级的高纯气体,为了---末端用气工艺设备处的气体纯度,使气体中的杂质含量(包括尘粒)控制在规定的数值内,一般在设备前设置末端纯化装置,或末端气体过滤器。

实验室气体管道工程
实验室供气系统气体管路
气体管路指气瓶至仪器终端之间连接管线,一般有气体切换装置-减压装置-阀门-管线-过滤器-报警器-终端箱-调节阀等部分组成,输送气体为实验室仪器(色谱、原子吸收等)用气、高纯气体。
使用的气瓶和备用气瓶之间有一个半自动调节阀来控制。所有气体管路都是高的、完全退火、无缝不锈钢ss-316l。所有氧气管路都需完全清理干净,使其适合氧气使用。气体管路需要有安全压力释放阀门、压力调节阀门、压力表来指示气体压力。
实验供气系统易i燃易i爆气体使用安全注意事项
1.易i燃易i爆气体:此类气体只要形成了可燃气体爆i炸混合气和达到着火温度。便会发生燃烧爆i炸事故因此在可燃气体入口处、气体钢瓶存放间、洁净室
内使用可燃气体处、敷设可燃气体的管廊或技术夹层以及可能---可燃气体的场所均应设置可燃气体报警装置。具体要求如下:
可燃气体比空气轻者,报警装置设置在所处场所的顶部。
可燃气体比空气重者,报警装置设置在所处场所的较低处。
可燃气体的报警装置应与相应的事故排风装置设电气连锁,当空气中的可燃气体浓度达到规定值时,氮气管道设计,事故排风装置自动开启,同时向洁净厂房的消防安全值班室发出报警信号。
为防止倒流回火应在用气设备的支管上设置阻火器,在排入---的排气管道上,为防止排气时突遇雷电袭i击阻止火焰蔓延至可燃气体管道引发燃烧爆i炸事故,必须在排气管道上设置阻火器。
可燃气体在适当的管道处应做接地,氮气管道安装,但接地电阻应符合相关规定。
各种可燃气体管道系统均应设置能引入氮气等惰性气体的接口及相应的检测口,以便在可燃气体供应系统使用前后或检修动火前后对其系统进行吹扫置换,但是惰性气体吹扫接口在正常运行中不能与气体钢瓶或惰性气体管道相通,以避免影响气体。

高纯气体管道工程的变温吸附法除水步骤有哪些?
1、用固体cacl2除水,水份可降低至0.1%(体积)以下;
2、用---洗涤除去高纯气体夹带的水份,为了除去高纯气体中的杂质水,资料表明工业上常用---洗涤除去高纯气体夹带的水份。在保持过程佳工艺的理想条件下,氮气管道报价,水份可降至0.01%(体积)以下;
3、采用冷冻法来脱除高纯气体中水,可降到600~1000ppm,夏季水份还要更多些;
4、jmt型干燥剂是一种含硅i铝比的丝光沸石型分子筛,具有---的热稳定性,除在300℃前有一脱水而引起明显吸热峰外,在900℃前无明显的分解峰,说明其晶格具有优良的稳定性。

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