管道工程性能-管道工程-珂锐弘扬流体控制系统

集中供气系统的特点

1、特点：实验室要求使用载气流量恒定、气体纯度高，管道工程厂家，为实验室选用的分析设备提供量值和压力稳定的气体。

2、经济性：建一个集中的气瓶间可以节省有限的实验室空间，更换钢瓶时不需要切断气体，---气体的连续供应。使用者只需管理较少的钢瓶，支付较少的钢瓶租金，管道工程，因为使用同一气体的所有使用点来自于同一个气源。此种供应方式会减少运输费用，减少退还给气体公司的空瓶中的余气量，以及---的钢瓶管理。

3、使用率：集中管道供应系统可以将气体出口放置在使用点处，这样的话可以更合理的设计工作场所。

4、安全性：---其储存和使用的安全性。保障分析测试人员在实验中免受有毒有害气体的---。

高纯气体配管及附件材质的选择

选用渗透性小、出气速率低、吸附性差的材料。目前---规模集成电路前工序高纯气体输送系统管道材料采用不锈钢光亮退火管（ss304ba、ss316ba）、不锈钢电抛光管（ss316l-ep）等，但是对要求控制高纯气体中总杂质含量≤1.01.0×10－6及以下的管材应用ss316l-ep管。

注：管路型式以气体特性设计，惰性气体使用一般的单层管，作为制程用的反应气体，管道工程性能，则选用高i级别的ss316l-ep管；使用与芯片接触但不参与制程反应的气体则选用ss316l-ba管。

对于自燃爆i炸，有剧i毒的特种气体，如sih4、ph3、ash3等则考虑使用双套管，它的内/外管材质一般为ss316l-ep/ss316l-ap，此设计的主要目的有两点，首先可保护内管直接受到外力撞击，其次能将由内管渗漏的气体阻绝于外管，并利用相关的检测设备检测，目前常用的设计有正压和负压两种方式，负压设计是将内外管间---真空，正压设计则是灌以氮气维持正压，两者皆可接上压力表或者压力警报器检知泄漏状态。

通常采用的方法有机械喷砂、化学溶液清洗、化学抛光、电抛光等，目前广泛应用的管材有光亮退火管和电抛光管。