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各种气体配管配件要求
在半导体体行业线宽越做越小,其对气体纯度、颗粒度、杂质含量、露i点的要求也越来越高。
高纯氮气(pn2):系统管道采用内壁电解抛光(ep)低碳(316l)不锈钢管,气体管道工程安装公司,阀门采用相同材质的波纹管阀或隔膜阀。
氮气(n2):系统管道采用内壁电解抛光(ep)低碳(316l)不锈钢管或光亮退火(ba)低碳(316l)不锈钢管,阀门采用相同材质的波纹管阀或球阀。
高纯氢气(ph2)氢气(h2):系统管道采用内壁电解抛光(ep)低碳(316l)不锈钢管,阀门采用相同材质的波纹管阀或隔膜阀。(ar):系统管道采用内壁电解抛光(ep)低碳(316l)不锈钢管,阀门采用相同材质的波纹管阀或隔膜阀。
---气(he):系统管道采用内壁电解抛光(ep)低碳(316l不锈钢管)阀门采用相同材质的波纹管阀或隔膜阀。
特气系统:---的还需做双套管:外管酸洗钝化(ap)处理,内管电解抛光(ep),气体管道材质,阀门采用相同材质的波纹管阀或隔膜阀。
对于特殊气体来讲,气体品种多,有毒有害气体多,原来是一机台配一气柜,高昂的装备组合和维修费用---增加了投资成本,且有的还布置在工艺间内,气体管道,存在着泄漏的安全---。现在广泛采用集中供气系统,气柜集中,自控系统不断完善,其报警、喷淋、切换、吹扫多较为成熟,特气间也与工艺间隔离,并对房间有防爆要求,工作的安全性---提高。

实验室气路改造安全要求
1、乙i炔铜盐、乙i炔气和气瓶不得与铜或含铜量超过70%的合金接触。所有附件不得使用这些金属。
2、气瓶和仪器之间应该有一个安全瓶,以防止吸回瓶中的现象发生,并造成危险。
3、如果气瓶---或发生回火,立即关闭气瓶阀门,将气瓶移出室外空矿坑,将气瓶浸入冷水中,或倒入大量冷水降温,慢慢打开阀门并继续冷却,直到气体释放。
4、乙i炔、氢气和液化石油i气是危险的。
5、氧气虽然不易i燃,但助燃性强,不得接触污物、有机物。
6、使用腐蚀性气体。气瓶和附件应经常检查。不用时不要把它们放在实验室里。

气体管道工程流量太大调不小的原因与解决办法?
气体管道工程在实施时难免发生---小小的事情,如果不加以解决会影响整个工程的进展,甚至造成的损失,那么呢了解气体管道工程流量太大调不小的原因吗,当遇到这种问题又有哪些解决方法呢?
产生此类故障的原因有三种:
第i一,是流量计后气路有泄漏;
第二,是气路气阻太小;
第三,是流量控制阀件损坏。
实验室气体管道工程
其检查方法如下:
首先堵住检测器的气路出口,观察流量计中的转子是否可下降到零位。如不能降为零,需要考虑对漏气处进行检查,具体方法见气路泄漏的检查与排除;如转子可降到零位说明系统不漏气。
气体管道工程
此时应观察一---量调节阀转动时,流量是否 有较大的变动,若有变动可适当增加气路气阻;若无变动则应怀疑阀件本身有问题,按照阀件的清洗部分处理。处理后的阀件应再装回原气路中进行控制试验。

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