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气体管道安装需要注意什么？

第i一，你所设工程的基本信息要尽量齐全，

例如，仪器的摆放位置，

仪器所要用到的气体，

仪器所用的气体压力，

流量方面的要求，所用仪器的进气口的配置情况，链接仪器的管线为多大。

第二，气体管路工程中很重要的是钢瓶间和管路的设计安装及各个辅助元件的选择和安装。

这些关系到你所要测验的物质的报告精度，

如果你要测验的物质报告要求只是个大概的就可以，

那么建议用国内的报告精度，

否则，真空管道好不好，必须选择国外的品牌，

第三、 气体管路工程安装中，

由于标准气体品种繁多，成分复杂，易i燃易i爆和有毒有害气体的泄漏，真空管道价格，都可能产生事故，

因此室内安装报警器是实现安全生产的---条件，安全生产，预防为主。

因此在气体管路安装过程中我们要注意腐蚀

1)湿气腐蚀 例如hcl、cl2在有水存在时很容易腐蚀钢瓶，

水分的引入可能来源于客户使用，没有关闭阀门，也可能在充装过程中或水压检验中;nh3、so2、h2s也有类似的腐蚀。

即使是干燥的氯i---和氯i气，高浓度时也不能储存在铝合金气瓶中。

高纯气体配管及附件材质的选择

选用渗透性小、出气速率低、吸附性差的材料。目前---规模集成电路前工序高纯气体输送系统管道材料采用不锈钢光亮退火管（ss304ba、ss316ba）、不锈钢电抛光管（ss316l-ep）等，但是对要求控制高纯气体中总杂质含量≤1.01.0×10－6及以下的管材应用ss316l-ep管。

注：管路型式以气体特性设计，惰性气体使用一般的单层管，作为制程用的反应气体，则选用高i级别的ss316l-ep管；使用与芯片接触但不参与制程反应的气体则选用ss316l-ba管。

对于自燃爆i炸，有剧i毒的特种气体，如sih4、ph3、ash3等则考虑使用双套管，它的内/外管材质一般为ss316l-ep/ss316l-ap，此设计的主要目的有两点，首先可保护内管直接受到外力撞击，真空管道供应商，其次能将由内管渗漏的气体阻绝于外管，并利用相关的检测设备检测，目前常用的设计有正压和负压两种方式，负压设计是将内外管间---真空，正压设计则是灌以氮气维持正压，两者皆可接上压力表或者压力警报器检知泄漏状态。

通常采用的方法有机械喷砂、化学溶液清洗、化学抛光、电抛光等，目前广泛应用的管材有光亮退火管和电抛光管。