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高纯气体配管及附件材质的选择
选用渗透性小、出气速率低、吸附性差的材料。目前---规模集成电路前工序高纯气体输送系统管道材料采用不锈钢光亮退火管(ss304ba、ss316ba)、不锈钢电抛光管(ss316l-ep)等,但是对要求控制高纯气体中总杂质含量≤1.01.0×10-6及以下的管材应用ss316l-ep管。
注:管路型式以气体特性设计,惰性气体使用一般的单层管,作为制程用的反应气体,则选用高i级别的ss316l-ep管;使用与芯片接触但不参与制程反应的气体则选用ss316l-ba管。
对于自燃爆i炸,有剧i毒的特种气体,如sih4、ph3、ash3等则考虑使用双套管,它的内/外管材质一般为ss316l-ep/ss316l-ap,此设计的主要目的有两点,首先可保护内管直接受到外力撞击,其次能将由内管渗漏的气体阻绝于外管,并利用相关的检测设备检测,目前常用的设计有正压和负压两种方式,负压设计是将内外管间---真空,正压设计则是灌以氮气维持正压,两者皆可接上压力表或者压力警报器检知泄漏状态。
通常采用的方法有机械喷砂、化学溶液清洗、化学抛光、电抛光等,目前广泛应用的管材有光亮退火管和电抛光管。

洁净车间高纯气体管道的安装、施工?
洁净厂房中的气体管道是指气体压力小于等于0.8mpa的氢气、氧气、氮气、压缩空气、燃气等一般气体和高纯气体管道及真空管道,其具体的安装要求可参考<洁净室施工及验收规范>(jgj 71-1990)的有关规定。高纯气体是指其气体纯度大于等于99.9995%,含水量小于5×10-4%的气体。
高纯度、高洁净气体管道的施工不同于一般工业管道,稍有疏忽便可能破坏气体的。因此,要理解安装气体的重大意义、要求严格遵守设计、施工要求,实验室气体管道安装价格,工作严肃认真、一丝不苟,高度重视各个细小环节,建成符合要求的管路系统。要求做到以下几个方面:
1.外观的检查工作
(1)管道系统的管材、阀门及所有附件,严格设计要求选用,不得随意更改或代换。
(2)所有管材应放在室内---保管,不得露天堆放、日晒和雨淋。
(3)管段端头要用塑料或橡胶密封罩加以密封,不得脱落、破i裂。
(4)管子、管件、阀门等使用前,详细进行下列外观检查:
1)无裂纹、缩孔、折叠、重皮等缺陷。
2)无锈蚀、蚀斑等现象。
3)管子平直、圆滑,无局部凹陷,无刮伤、挤压等缺陷。
4)管材内表面的“粗糙度”是否符合设计要求,螺纹处密封、保护是否---。
5)外购成品“内表面超光滑洁净管”要有出厂合格证及相关等i级i---和资i质证明。应随机抽样做显微镜下检验,必须符合设计要求。
6)检查成品“内表面超光滑洁净管”的外包装和相应管端头的管帽、堵头等密封措施是否符合要求。
7)法兰的密封面应当平整、光滑,不得有毛刺及径向沟槽,凹凸法兰应当能够自然嵌合,凸面的高度不得低于凹槽的---。
8)橡胶、塑料等非金属垫片,应当质地柔软、无老化及分层现象,表面不得有折损、皱i纹等现象。金属垫片的加工尺寸、精度、厚度、表面粗糙度、硬度、厚度等均要符合要求,表面不得有裂纹、毛刺、凹槽、径向划痕和锈斑等缺陷。

气体管道工程施工有什么标准?
1.所有的管路、阀门、压力表都由高的不锈钢构成,实验室气体管道安装厂家,并且都是标准配件。所有气体出口为不锈钢阀门。工作台上气体出口由单独的阀门来控制。引到工作台的气体管路将安装单独的球阀或针阀来控制。
2.所有气体管路都由高的、完全退火型、无缝连接的不锈钢管ss-316l组成,铜管只使用在气体管路的末端和气体纯度不是要求太严格的地方(比如通风柜)
3.根据实验室的用气量,计算供气压力、流量和管道的内径,所有气体主管道原则上不低于9.52mm(3/8in,仪器空气主管道直径为12.7mm).管路末端,原则上不低于6.35mm(1/4in,也可根据实际使用量而定)。
4.每个实验室都要有单独的阀门、减压阀门、压力表。此外,对于供应多台分析仪器的气体管路,实验室气体管道安装,另外还需要气体压力控制指示装置。所有气体管路的连接为无缝焊接。连接到阀门或调节装置时,才可以使用压力配件。
5.气体管路的支架要求耐腐蚀,可以采用不锈钢或其他合适的工程塑料等制作。每隔1.5m左右,气体管路就需要有支架。另外根据气体管路弯曲的直径,设置合适的支架位置。
6.所有弯曲处都要有支撑。所有“u”性弯曲处根据安装情况,需要有支撑。

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