气体管道设计-昆山气体管道-苏州珂锐弘扬_苏州生物化工

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气体管道设计规范

（1）氢气、氧气和煤气管道以及引入实验室的各种气体管道支管宜明敷。当管道井、管道技术层内敷设有氢气、氧气和煤气管道时，应有换气1~3次/h的通风措施。

（2）按标准单元组合设计的通用实验室，各种气体管道也应按标准单元组合设计。

（3）穿过实验室墙体或楼板的气体管道应敷设在预埋套管内，套管内的管段不应有焊缝。管道与套管之间采用非燃烧材料严密封堵。

（4）氢气、氧气管道的末端和顶端宜设置放空管。放空管应高出层顶2m以上，并应设在防雷保护区内。氢气管道上还应设取样点和吹扫口。放空管、取样口和吹扫口的位置应能满足管道内气体吹扫置换的要求。

（5）氢气、氧气管道应有导除静电的接地装置。有接地要求的气体管道其接地和跨接措施应按现行有关规定执行。

（6）管道敷设要求

输送干燥气体的管道宜水平安装，输送潮湿气体的管道应有不小于0.3%的坡度，坡向冷凝液体收集器。

氧气管道与其他气体管道可同架敷设，气体管道流速，其间距不得小于0.25m，氧气管道应处于除氧气管道外的其它气体管道之上。

氢气管道与其可燃气体管道平行敷设时，其间距不应小于0.50m;交叉敷设时，其间距不应小于0.25m。分层敷设时，氢气管道应位于上方。室内氢气管道不应敷设在地沟内或直接埋地。不得穿过不适用氢气的房间。

气体管道不得和电缆、到店线路同架敷设。

气体管道宜采用无缝钢管。气体纯度大于或等于99.99%的气体管道宜采用不锈钢管、铜管或无缝钢管。

管道与设备的连接段宜采用金属管道，如为非金属软管，宜采用聚四氟乙烯管、聚氯i乙烯管，不得采用乳胶管。

阀门和附件的材质：对氢气和煤气管道不得采用铜质材料，气体管道系统，其它气体管道可采用铜、碳钢和可锻铸铁等材料。

高纯气体管道工程的变温吸附法除水步骤有哪些？

1、用固体cacl2除水，水份可降低至0.1%（体积）以下；

2、用---洗涤除去高纯气体夹带的水份，为了除去高纯气体中的杂质水，资料表明工业上常用---洗涤除去高纯气体夹带的水份。在保持过程佳工艺的理想条件下，气体管道设计，水份可降至0.01%（体积）以下；

3、采用冷冻法来脱除高纯气体中水，可降到600～1000ppm，夏季水份还要更多些；

4、jmt型干燥剂是一种含硅i铝比的丝光沸石型分子筛，具有---的热稳定性，除在300℃前有一脱水而引起明显吸热峰外，在900℃前无明显的分解峰，说明其晶格具有优良的稳定性。

各种气体配管配件要求

在半导体体行业线宽越做越小，其对气体纯度、颗粒度、杂质含量、露i点的要求也越来越高。

高纯氮气(pn2)：系统管道采用内壁电解抛光(ep)低碳(316l)不锈钢管，阀门采用相同材质的波纹管阀或隔膜阀。

氮气(n2)：系统管道采用内壁电解抛光(ep)低碳(316l)不锈钢管或光亮退火(ba)低碳(316l)不锈钢管，阀门采用相同材质的波纹管阀或球阀。

高纯氢气(ph2)氢气(h2)：系统管道采用内壁电解抛光(ep)低碳(316l)不锈钢管，阀门采用相同材质的波纹管阀或隔膜阀。(ar)：系统管道采用内壁电解抛光(ep)低碳(316l)不锈钢管，阀门采用相同材质的波纹管阀或隔膜阀。

---气(he)：系统管道采用内壁电解抛光(ep)低碳(316l不锈钢管)阀门采用相同材质的波纹管阀或隔膜阀。

特气系统：---的还需做双套管：外管酸洗钝化(ap)处理，内管电解抛光(ep)，阀门采用相同材质的波纹管阀或隔膜阀。

对于特殊气体来讲，气体品种多，有毒有害气体多，原来是一机台配一气柜，高昂的装备组合和维修费用---增加了投资成本，且有的还布置在工艺间内，存在着泄漏的安全---。现在广泛采用集中供气系统，昆山气体管道，气柜集中，自控系统不断完善，其报警、喷淋、切换、吹扫多较为成熟，特气间也与工艺间隔离，并对房间有防爆要求，工作的安全性---提高。

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