光纤制备中用作生产掺氟玻璃的氟源，在制造低损耗单模光纤中用作隔离层的掺杂剂。还可用作氮准分子激光器的掺加气体。在气象、环境检测及其他部门用作示踪剂、标准气或配制标准混合气。在高压开关中用作灭弧和大容量变压器绝缘材料。也可用于粒子及避雷器中。利用其化学稳定性好和对设备不腐蚀等特点，在冷冻工业上可用作冷冻剂（操作温度－45~0℃之间）。由于对α粒子有高度的停止能力，标准气体，还用于化学。此外还作为一种反吸附剂从矿井煤尘中置换氧。
由于均匀性是考察同一瓶标准气体在制备完以后，多长时间量值达到稳定，由有限次测定得到的平均值，在方法的不确定范围内应该是不---的。如果差异是---的，这个因素就是标准气体的不均匀性造成的。稳定性编辑前言标准物质是指:“具有足够均匀并已经---地确定某一种或多种特性的物质或材料， 用于校准仪器、评价测量方法或确定物质的量值。”标准气体是气体标准物质， 由于标准气体具有一定的有效期， 因此，标准气体的稳定性是配制和使用过程中的关键问题。
容积法1、适用范围静态容积法适用于实验室制备多种小、少量的标准气体，压力接近---压力。2、所需设备配气设备：气瓶，气瓶减压阀门，标准气体报价，定体积管，压力计，真空泵。饱和法1、适用范围饱和法法适用于易于冷凝的气体和蒸汽。2、所需设备配气设备：气瓶，气瓶减压阀门，冷凝器，标准气体生产商，饱和器，恒温控制器，标准气体怎么样，压力计，循环风机。流量法1、适用范围流量比法法是动态配气方法，是严格控制一定比例的组分气体和释稀释气体的流量，经混合而得到的标准气体。2、所需设备气瓶，气瓶减压阀门，单向阀，流量控制器，压力表，管道，机箱。
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