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高纯气体管路的设计要点:
1.对于不同特性的气体,要规划独立的供应区域,一般分为三个区:腐蚀性/毒性气体区、可燃性气体区、惰性气体区,将相同性质的气体集中加强管理,可燃性气体区要---规划防爆墙与泄漏口,若空间不足,可考虑将惰性气体放置与毒性/腐蚀性气体区。
2.管路设计需要考虑输送的距离,安徽气体管道安装,距离越长,成本越高,风险也越高,通常较合理的设计流速为20ml/s,可燃性气体小于10ml/s,毒性/腐蚀性气体小于8ml/s,气体管道安装性能,在用量设计方面,则需要考虑使用点的压力和管径大小,前者与气体特性有关,后者使用点的管径一般为1/4”~3/8”。
3.根据用气设备的分布情况,高纯气体的管网不宜过大或者过长;宜采用不封闭的环形管路,在系统末端连续不断排放少量的气体,以便在管网中总有高纯气体流通,不会发生“死空间”引起高纯气体的污染。
4.管路中应减少不流动气体的“死空间”,不应设有盲管,在特种气体的储气瓶与用气设备之间应设吹扫控制装置、多阀门控制装置、用以控制各个阀门的开关顺序、系统吹除,以---供气系统的安全、---运行和防止“死区”形成而滞留污染物,降低气体纯度。
5.对高纯气体纯度要求不同的用气设备,宜采用分等级高纯气体输送系统;也可采用同等级输送系统,但是在纯度要求高的用气设备邻近处设末端气体提纯装置。
6.为了检测高纯气体的纯度和杂质含量,输送系统除了设置---的连续检测仪器,如衡量水含量或者氧杂质含量等分析仪外,还应设置定期取样用的检测采样口,以便按规定时间进行采样,分析高纯气体中各种杂质的含量。
7.在亚微米级的集成电路生产中,要求供应10-9级的高纯气体,为了---末端用气工艺设备处的气体纯度,使气体中的杂质含量(包括尘粒)控制在规定的数值内,一般在设备前设置末端纯化装置,或末端气体过滤器。

连接方式:
1)焊接。高纯、高洁净气体管道,气体管道安装,原则上采用焊接,但不能直接对焊,应采用套管接头。
a不锈钢管的焊接:采用argon arc welding,同时管内通入同等纯度的ar,防止焊接部位氧化。
b钢管的焊接:采用40%银焊条,氮气保护焊,管内通入工艺气体同等纯度的氮气。但要注意,气体管道安装价格,一旦氮气中断或氮气纯度下降,会在焊口附近生成铜的氧化物,产生浸润表面的可能性。所以,当铜管焊接完毕后,要用浸渍丙i酮的纱布来回擦拭管内,消除焊接处可能产生的氧化物。
2)螺纹连接。螺纹连接的气密性不如焊接的好,不适用于高纯、高洁净气体管路连接。螺纹连接使用的密封填料残渣有带入气体的危险,而且内外螺纹旋紧时,金属间的摩擦会产生金属粉尘粒子,污染气体。如确实---,应在铜与铜、铜与铜合金附件螺纹连接时,在外螺纹上均匀地挂上一定量的焊条,提高密封效果,尽可能减少金属粉尘。
3)法兰连接。螺纹或法兰连接处的密封材料应采用聚四氯i乙烯,为---密封效果,在垫片上涂敷少量氟橡胶(白色、室温固化)。
(3)管路附件的使用:
1)管路附件的材质的选用原则应与管材的选用原则一致。
2)在采用铜材的管路系统中,可以使用不锈钢材质的管道附件;但在不锈钢材质的管路系统中,不容使用铜制材料的管道附件。

气体管道工程施工有什么标准?
1.所有的管路、阀门、压力表都由高的不锈钢构成,并且都是标准配件。所有气体出口为不锈钢阀门。工作台上气体出口由单独的阀门来控制。引到工作台的气体管路将安装单独的球阀或针阀来控制。
2.所有气体管路都由高的、完全退火型、无缝连接的不锈钢管ss-316l组成,铜管只使用在气体管路的末端和气体纯度不是要求太严格的地方(比如通风柜)
3.根据实验室的用气量,计算供气压力、流量和管道的内径,所有气体主管道原则上不低于9.52mm(3/8in,仪器空气主管道直径为12.7mm).管路末端,原则上不低于6.35mm(1/4in,也可根据实际使用量而定)。
4.每个实验室都要有单独的阀门、减压阀门、压力表。此外,对于供应多台分析仪器的气体管路,另外还需要气体压力控制指示装置。所有气体管路的连接为无缝焊接。连接到阀门或调节装置时,才可以使用压力配件。
5.气体管路的支架要求耐腐蚀,可以采用不锈钢或其他合适的工程塑料等制作。每隔1.5m左右,气体管路就需要有支架。另外根据气体管路弯曲的直径,设置合适的支架位置。
6.所有弯曲处都要有支撑。所有“u”性弯曲处根据安装情况,需要有支撑。

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