集中供气管道安装设计厂家-珂锐弘扬-集中供气管道安装设计

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    2024-5-31

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苏州珂锐弘扬流体控制系统有限公司提供集中供气管道安装设计厂家-珂锐弘扬-集中供气管道安装设计。











各种气体配管配件要求

在半导体体行业线宽越做越小,其对气体纯度、颗粒度、杂质含量、露i点的要求也越来越高。

高纯氮气(pn2):系统管道采用内壁电解抛光(ep)低碳(316l)不锈钢管,阀门采用相同材质的波纹管阀或隔膜阀。

氮气(n2):系统管道采用内壁电解抛光(ep)低碳(316l)不锈钢管或光亮退火(ba)低碳(316l)不锈钢管,阀门采用相同材质的波纹管阀或球阀。

高纯氢气(ph2)氢气(h2):系统管道采用内壁电解抛光(ep)低碳(316l)不锈钢管,阀门采用相同材质的波纹管阀或隔膜阀。(ar):系统管道采用内壁电解抛光(ep)低碳(316l)不锈钢管,阀门采用相同材质的波纹管阀或隔膜阀。

---气(he):系统管道采用内壁电解抛光(ep)低碳(316l不锈钢管)阀门采用相同材质的波纹管阀或隔膜阀。

特气系统:---的还需做双套管:外管酸洗钝化(ap)处理,内管电解抛光(ep),阀门采用相同材质的波纹管阀或隔膜阀。

对于特殊气体来讲,气体品种多,有毒有害气体多,原来是一机台配一气柜,高昂的装备组合和维修费用---增加了投资成本,且有的还布置在工艺间内,集中供气管道安装设计哪里好,存在着泄漏的安全---。现在广泛采用集中供气系统,集中供气管道安装设计,气柜集中,自控系统不断完善,其报警、喷淋、切换、吹扫多较为成熟,特气间也与工艺间隔离,并对房间有防爆要求,集中供气管道安装设计哪里有,工作的安全性---提高。









实验室气体管道安装

实验室气体管路要求

1、所有气体管路都由高的、完全退火型、无缝连接的不锈钢管组成。铜管只使用在气体管路的末端,对气体纯度要求不是太严格的地方。(比如通风柜)。

2、气体管道不得和电缆、导电线路同架铺设。

3、易i燃气体,如乙i炔需要和其他气体分开单独引入。氢气管道若与其他可燃气体管道平行敷设时,其间距不应小于0.5m;交叉敷设时间距不应小于0.25m。分层敷设时氢气管道应位于上方。

4、压缩空气在管路上有过滤杂质和水分的净化装置,此净化装置需要并联一路,用单独的阀门隔离,以方便对过滤装置进行维修。

5、高纯气体管路的连接为无缝焊接。连接到阀门或调节装置时才可以使用接头配件。

6、 每个实验室都要有单独的控制阀、减压阀和压力表。

7、引到工作台的气体管路要安装单独的控制阀。工作台上要均匀排放各种气体的控制阀门。在---气管路前面建议安装气体净化装置。

8、每隔1.5米左右,气体管路就需要有支架。另外根据气体管路弯曲的半径,设置合适的支架位置。所有弯曲处都要有支撑。气体管路所有的支架都要进行镀锌防腐处理。

9、不锈钢管件在现场安装时方可启封,启封后均要适用5n的高纯气体吹扫后才能接入系统。整个系统安装完成后,还要再使用5n的高纯氮气进行大流量吹扫,以---整个系统的洁净度。

10、供气系统安装完成后,根据要求进行相关的强度测试、密封测试和稳定性测试。


实验室气体管路安装检验

实验室承包商要---气体管路系统的清洁,所有气体管路的检验根据标准程序。气体管路要做压力检验,防止管路泄漏。









特气管道系统 spe---l gas pipeline system 是指sih4,nf3,cl2 等一些具有高危险性,集中供气管道安装设计厂家,应---安全性的特气。公司提供从供气系统;排气处理、监视系统的综合管理系统;建立以安全为第i一的特气管理输送系统。提供设计、选型、制造、安装、测试、调试和系统托管服务等整体解决方案。

特种气体是光电子、微电子等领域,---是---规模集成电路、液晶显示器件、非晶硅薄膜太阳能电池、半导体发光器件和半导体材料制造过程不可缺少的基础性支撑源材料。它的纯度和洁净度直接影响到光电子、微电子元器件的、集成度、特定技术指标和成品率,并从---上制约着电路和器件的精i确性和准确性。

工程项目覆盖半导体、集成电路、平板显示、光电、汽车、新能源、纳米、光纤、微电子、石油化工、生物医i药、各类实验室、研究所、标准检测等---行业;为客户提供高纯介质输送系统全套解决方案;逐步成为行业领i先的整体系统供应商。








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