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洁净车间高纯气体管道的安装、施工？

洁净厂房中的气体管道是指气体压力小于等于0.8mpa的氢气、氧气、氮气、压缩空气、燃气等一般气体和高纯气体管道及真空管道，其具体的安装要求可参考<洁净室施工及验收规范>(jgj 71-1990)的有关规定。高纯气体是指其气体纯度大于等于99.9995%，含水量小于5×10-4%的气体。

高纯度、高洁净气体管道的施工不同于一般工业管道，稍有疏忽便可能破坏气体的。因此，要理解安装气体的重大意义、要求严格遵守设计、施工要求，工作严肃认真、一丝不苟，高度重视各个细小环节，气体管路设计，建成符合要求的管路系统。要求做到以下几个方面:

1.外观的检查工作

(1)管道系统的管材、阀门及所有附件，严格设计要求选用，不得随意更改或代换。

(2)所有管材应放在室内---保管，气体管路设计哪里有，不得露天堆放、日晒和雨淋。

(3)管段端头要用塑料或橡胶密封罩加以密封，不得脱落、破i裂。

(4)管子、管件、阀门等使用前，详细进行下列外观检查:

1)无裂纹、缩孔、折叠、重皮等缺陷。

2)无锈蚀、蚀斑等现象。

3)管子平直、圆滑，无局部凹陷，无刮伤、挤压等缺陷。

4)管材内表面的“粗糙度”是否符合设计要求，螺纹处密封、保护是否---。

5)外购成品“内表面超光滑洁净管”要有出厂合格证及相关等i级i---和资i质证明。应随机抽样做显微镜下检验，必须符合设计要求。

6)检查成品“内表面超光滑洁净管”的外包装和相应管端头的管帽、堵头等密封措施是否符合要求。

7)法兰的密封面应当平整、光滑，不得有毛刺及径向沟槽，凹凸法兰应当能够自然嵌合，气体管路设计，凸面的高度不得低于凹槽的---。

8)橡胶、塑料等非金属垫片，应当质地柔软、无老化及分层现象，表面不得有折损、皱i纹等现象。金属垫片的加工尺寸、精度、厚度、表面粗糙度、硬度、厚度等均要符合要求，表面不得有裂纹、毛刺、凹槽、径向划痕和锈斑等缺陷。

高纯气体管道配管

所有高纯度、高洁净的气体均需通过管路输送到设备用点(pou)，气体管路设计品牌，为了达到工艺对气体的要求，在气体出口指标一定的情况下，则更需重视配管系统的材料选用和施工。除取决于制气或净化设备的精度外，在很大程度上受到管路系统诸多因素的影响，因此，管材的选取应恪守相关行业原则，并在图纸中注明管道材质。

管路的材质则依使用的需求进行选择，若为制程用的反应气体则选择---级的316l ep管，经电解拋光(electro-polish)处理，耐腐蚀，表面粗糙度低，rmax(maximum peak to valleyht=)约为0.3μm以下，其值远低于经过光辉烧结(bright anneal)处理之316l ba管的0.8μm，因平整度越高越不容易形成微涡流，而将污染粒子带出。316l ba管则常使用于和芯片接触但不参与制程反应的气体，如gn2、cda。管内表面粗糙度是衡量管材的标准。粗糙度越低，其颗粒携带可能性---降低。另一种未经特殊处理的ap管(annealing & picking)，则用于不做为供气管路的双套外管。