光纤制备中用作生产掺氟玻璃的氟源，在制造低损耗单模光纤中用作隔离层的掺杂剂。还可用作氮准分子激光器的掺加气体。在气象、环境检测及其他部门用作示踪剂、标准气或配制标准混合气。在高压开关中用作灭弧和大容量变压器绝缘材料。也可用于粒子及避雷器中。利用其化学稳定性好和对设备不腐蚀等特点，在冷冻工业上可用作冷冻剂（操作温度－45~0℃之间）。由于对α粒子有高度的停止能力，还用于化学。此外还作为一种反吸附剂从矿井煤尘中置换氧。
标准气体为气体工业名词。标准物质是浓度均匀的，---稳定和量值准确的测定标准，它们具有复现，保存和传递量值的基本作用，在物理，化学，标准气体生产商，生物与工程测量领域中用于校准测量仪器和测量过程，苏州标准气体，评价测量方法的准确度和检测实验室的检测能力，确定材料或产品的特性量值，标准气体厂家，进行量值仲裁等。1. 常见的标准气体按用途包括：气体报警类标准气体、电力能源类标准气体、石油化工类标准气体、监测类标准气体、卫生类标准气体、仪器仪表类标准气体等。
标准气体的混匀方法有：热处理法、钢瓶滚动法、特殊充填法、自然扩散法、其他混匀方法等，几种混匀操作方法如下： [1] 热处理法一般将制备好的标准气体的容器置于40℃以下的温水浴中加热，使气体组分较快的混合均匀。钢瓶旋转滚动法将钢瓶水平放在混匀半置的滚动轴上，使它绕轴心旋转民。该法混匀所需时间短，标准气体，操作简单。特殊充填法在充填某些气体时，可将钢瓶倒立并保持45℃的倾斜，从下端充气，促使气体绝热膨胀，产生放热效应，气体可以在充填的同时混合均匀。
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