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实验室气体的供气方式
采用中压供气,二级减压的供气方式,气瓶气体压力为12.5mpa,经一级减压后为1mpa(管路压力1mpa),送至用气点,经二级减压后为0.3——0.5 mpa(根据仪器需求)送至仪器,供气压力比较稳定。
实验室气体管道的材质要求
(1)对所有气体无渗透性
(2)吸附效应很少
(3)对所输送的气体呈化学惰性
(4)能快速使输送的气体达到平衡
注:化学物质腐蚀影响等级 a—没有影响 b—轻微影响 c—中度影响 d—---影响
316不锈钢是继304不锈钢之后,第二个得到广泛应用的钢种,具有较好的耐腐蚀性,耐高温,强度优i秀等特点,所以我们一直用 316无缝不锈钢管。

各种气体配管配件要求
在半导体体行业线宽越做越小,其对气体纯度、颗粒度、杂质含量、露i点的要求也越来越高。
高纯氮气(pn2):系统管道采用内壁电解抛光(ep)低碳(316l)不锈钢管,阀门采用相同材质的波纹管阀或隔膜阀。
氮气(n2):系统管道采用内壁电解抛光(ep)低碳(316l)不锈钢管或光亮退火(ba)低碳(316l)不锈钢管,阀门采用相同材质的波纹管阀或球阀。
高纯氢气(ph2)氢气(h2):系统管道采用内壁电解抛光(ep)低碳(316l)不锈钢管,阀门采用相同材质的波纹管阀或隔膜阀。(ar):系统管道采用内壁电解抛光(ep)低碳(316l)不锈钢管,阀门采用相同材质的波纹管阀或隔膜阀。
---气(he):系统管道采用内壁电解抛光(ep)低碳(316l不锈钢管)阀门采用相同材质的波纹管阀或隔膜阀。
特气系统:---的还需做双套管:外管酸洗钝化(ap)处理,内管电解抛光(ep),阀门采用相同材质的波纹管阀或隔膜阀。
对于特殊气体来讲,气体品种多,有毒有害气体多,原来是一机台配一气柜,管道工程生产商,高昂的装备组合和维修费用---增加了投资成本,且有的还布置在工艺间内,存在着泄漏的安全---。现在广泛采用集中供气系统,气柜集中,自控系统不断完善,其报警、喷淋、切换、吹扫多较为成熟,特气间也与工艺间隔离,管道工程,并对房间有防爆要求,管道工程价格,工作的安全性---提高。

实验室气路工程
建设标准化规范化的实验室,是需要配备---分析仪器(icp/gc等)的,为了让---更安全、方便、地使用这些分析仪器,管道工程厂家,选择正确又合适的供气模式也是其中不可或缺的一环,近年来,实验室高纯度集中供气模式被广泛应用,它主要由以下部分组成:
☆气站:包括气源、带吹扫自动切换装置、不锈钢盘管或金属软管、一级减压装置、二级减压阀装置、单瓶汇排流、双瓶汇排流、三瓶汇排流、末端/终端减压阀装置、气瓶装置、欠压报警装置、泄露报警装置等 。
☆输送系统:
供气管道采用316l高洁净无缝不锈钢管
管路尺寸:1”、1/2”、3/8”、1/4”、 1/16、1/8” 、3” 、6”……
洁净级别:ep、ba、ap……bai级钢管壁厚只能做到2mm
通过卡套接头或焊接接头进行连接;
集中供气系统——让客户---安全、便利、

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