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高纯气体配管及附件材质的选择

选用渗透性小、出气速率低、吸附性差的材料。目前---规模集成电路前工序高纯气体输送系统管道材料采用不锈钢光亮退火管（ss304ba、ss316ba）、不锈钢电抛光管（ss316l-ep）等，但是对要求控制高纯气体中总杂质含量≤1.01.0×10－6及以下的管材应用ss316l-ep管。

注：管路型式以气体特性设计，惰性气体使用一般的单层管，作为制程用的反应气体，则选用高i级别的ss316l-ep管；使用与芯片接触但不参与制程反应的气体则选用ss316l-ba管。

对于自燃爆i炸，有剧i毒的特种气体，如sih4、ph3、ash3等则考虑使用双套管，它的内/外管材质一般为ss316l-ep/ss316l-ap，此设计的主要目的有两点，首先可保护内管直接受到外力撞击，其次能将由内管渗漏的气体阻绝于外管，相门区管道工程，并利用相关的检测设备检测，目前常用的设计有正压和负压两种方式，负压设计是将内外管间---真空，正压设计则是灌以氮气维持正压，两者皆可接上压力表或者压力警报器检知泄漏状态。

通常采用的方法有机械喷砂、化学溶液清洗、化学抛光、电抛光等，目前广泛应用的管材有光亮退火管和电抛光管。

实验室气路改造设计有那些要求？

　　1、为了便于气瓶的更换，气瓶连接器和调节阀之间应设置耐高压金属软管。

　　2.为了防止整个系统回火，应安装防爆止回阀。

　　3.气体在进入使用点之前，为了便于控制气体开关，应提供一个使用点球阀。

　　4.为了保持气体的纯度和管道系统的气密性，所有管道均为316l不锈钢管道，内表面经ap处理。

　　5.为了便于阀门部件的维护和更换，管道与阀门部件之间的连接应采用高压双卡套接头连接。

　　6.管道固定部件(管夹)应由耐高温金属材料制成，并应牢固、轻便和---。

　　7.考虑到坚固、耐腐蚀、使用方便、外形美观等原因，管道工程，调压阀的控制面板采用不锈钢制成。

　　8.为了---气体输出压力的稳定性和气体的纯度，选择了二级减压系统(即采用一级减压系统和二级减压系统，二级减压设备系统自带)。