气体管道设计-张家港气体管道-苏州珂锐弘扬流体

高纯气体管道配管

所有高纯度、高洁净的气体均需通过管路输送到设备用点(pou)，为了达到工艺对气体的要求，在气体出口指标一定的情况下，则更需重视配管系统的材料选用和施工。除取决于制气或净化设备的精度外，在很大程度上受到管路系统诸多因素的影响，因此，管材的选取应恪守相关行业原则，并在图纸中注明管道材质。

管路的材质则依使用的需求进行选择，若为制程用的反应气体则选择---级的316l ep管，经电解拋光(electro-polish)处理，耐腐蚀，表面粗糙度低，张家港气体管道，rmax(maximum peak to valleyht=)约为0.3μm以下，其值远低于经过光辉烧结(bright anneal)处理之316l ba管的0.8μm，因平整度越高越不容易形成微涡流，而将污染粒子带出。316l ba管则常使用于和芯片接触但不参与制程反应的气体，如gn2、cda。管内表面粗糙度是衡量管材的标准。粗糙度越低，其颗粒携带可能性---降低。另一种未经特殊处理的ap管(annealing & picking)，则用于不做为供气管路的双套外管。

气体管道工程施工有什么标准？

1.所有的管路、阀门、压力表都由高的不锈钢构成，并且都是标准配件。所有气体出口为不锈钢阀门。工作台上气体出口由单独的阀门来控制。引到工作台的气体管路将安装单独的球阀或针阀来控制。

2.所有气体管路都由高的、完全退火型、无缝连接的不锈钢管ss-316l组成，铜管只使用在气体管路的末端和气体纯度不是要求太严格的地方(比如通风柜)

3.根据实验室的用气量，计算供气压力、流量和管道的内径，所有气体主管道原则上不低于9.52mm(3/8in，气体管道颜色，仪器空气主管道直径为12.7mm).管路末端，原则上不低于6.35mm(1/4in，也可根据实际使用量而定)。

4.每个实验室都要有单独的阀门、减压阀门、压力表。此外，气体管道系统，对于供应多台分析仪器的气体管路，另外还需要气体压力控制指示装置。所有气体管路的连接为无缝焊接。连接到阀门或调节装置时，才可以使用压力配件。

5.气体管路的支架要求耐腐蚀，可以采用不锈钢或其他合适的工程塑料等制作。每隔1.5m左右，气体管路就需要有支架。另外根据气体管路弯曲的直径，设置合适的支架位置。

6.所有弯曲处都要有支撑。所有“u”性弯曲处根据安装情况，需要有支撑。