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各种气体配管配件要求
在半导体体行业线宽越做越小,其对气体纯度、颗粒度、杂质含量、露i点的要求也越来越高。
高纯氮气(pn2):系统管道采用内壁电解抛光(ep)低碳(316l)不锈钢管,阀门采用相同材质的波纹管阀或隔膜阀。
氮气(n2):系统管道采用内壁电解抛光(ep)低碳(316l)不锈钢管或光亮退火(ba)低碳(316l)不锈钢管,阀门采用相同材质的波纹管阀或球阀。
高纯氢气(ph2)氢气(h2):系统管道采用内壁电解抛光(ep)低碳(316l)不锈钢管,阀门采用相同材质的波纹管阀或隔膜阀。(ar):系统管道采用内壁电解抛光(ep)低碳(316l)不锈钢管,阀门采用相同材质的波纹管阀或隔膜阀。
---气(he):系统管道采用内壁电解抛光(ep)低碳(316l不锈钢管)阀门采用相同材质的波纹管阀或隔膜阀。
特气系统:---的还需做双套管:外管酸洗钝化(ap)处理,内管电解抛光(ep),阀门采用相同材质的波纹管阀或隔膜阀。
对于特殊气体来讲,气体品种多,有毒有害气体多,原来是一机台配一气柜,高昂的装备组合和维修费用---增加了投资成本,且有的还布置在工艺间内,气体管道施工,存在着泄漏的安全---。现在广泛采用集中供气系统,气柜集中,自控系统不断完善,其报警、喷淋、切换、吹扫多较为成熟,特气间也与工艺间隔离,并对房间有防爆要求,工作的安全性---提高。

集中供气系统的特点
1、特点:实验室要求使用载气流量恒定、气体纯度高,为实验室选用的分析设备提供量值和压力稳定的气体。
2、经济性:建一个集中的气瓶间可以节省有限的实验室空间,更换钢瓶时不需要切断气体,---气体的连续供应。使用者只需管理较少的钢瓶,支付较少的钢瓶租金,因为使用同一气体的所有使用点来自于同一个气源。此种供应方式会减少运输费用,减少退还给气体公司的空瓶中的余气量,以及---的钢瓶管理。
3、使用率:集中管道供应系统可以将气体出口放置在使用点处,这样的话可以更合理的设计工作场所。
4、安全性:---其储存和使用的安全性。保障分析测试人员在实验中免受有毒有害气体的---。

气体管道工程流量太大调不小的原因与解决办法?
气体管道工程在实施时难免发生---小小的事情,如果不加以解决会影响整个工程的进展,甚至造成的损失,气体管道系统,那么呢了解气体管道工程流量太大调不小的原因吗,当遇到这种问题又有哪些解决方法呢?
产生此类故障的原因有三种:
第i一,是流量计后气路有泄漏;
第二,是气路气阻太小;
第三,是流量控制阀件损坏。
实验室气体管道工程
其检查方法如下:
首先堵住检测器的气路出口,观察流量计中的转子是否可下降到零位。如不能降为零,需要考虑对漏气处进行检查,宁波气体管道,具体方法见气路泄漏的检查与排除;如转子可降到零位说明系统不漏气。
气体管道工程
此时应观察一---量调节阀转动时,流量是否 有较大的变动,若有变动可适当增加气路气阻;若无变动则应怀疑阀件本身有问题,按照阀件的清洗部分处理。处理后的阀件应再装回原气路中进行控制试验。

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