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高纯气体管道配管

所有高纯度、高洁净的气体均需通过管路输送到设备用点(pou)，为了达到工艺对气体的要求，气体减压器供应厂家，在气体出口指标一定的情况下，则更需重视配管系统的材料选用和施工。除取决于制气或净化设备的精度外，在很大程度上受到管路系统诸多因素的影响，因此，管材的选取应恪守相关行业原则，气体减压器，并在图纸中注明管道材质。

管路的材质则依使用的需求进行选择，若为制程用的反应气体则选择---级的316l ep管，经电解拋光(electro-polish)处理，耐腐蚀，表面粗糙度低，rmax(maximum peak to valleyht=)约为0.3μm以下，其值远低于经过光辉烧结(bright anneal)处理之316l ba管的0.8μm，因平整度越高越不容易形成微涡流，而将污染粒子带出。316l ba管则常使用于和芯片接触但不参与制程反应的气体，如gn2、cda。管内表面粗糙度是衡量管材的标准。粗糙度越低，其颗粒携带可能性---降低。另一种未经特殊处理的ap管(annealing & picking)，则用于不做为供气管路的双套外管。

实验室气体管道工程系统 

目前主流气路编排主要是实验室集中供气系统。

实验室集中供气系统的特点：安全性、洁净度、稳定性、经济性、操作便捷性和美观性。

实验室集中供气系统主要由气源、切换装置、管道系统、调压装置、用气点、监控及报警系统组成。对于一些易i燃易i爆气体，如氢气、乙i炔等，可能在设计和施工过程中稍有差异，必须加入阻火器防止火苗串入。

集中供气操作原理：实验室供气有二级减压和多级减压。

二级减压即气瓶端采用一级减压阀和末端采用一级减压阀来达到二级减压的目的。实验室一般采用二级减压，气体减压器哪里有，这样可以---气体的纯度和节约成本，也能达到多级减压的效果()。

多级减压即气瓶端采用二级减压阀或多级减压阀和末端采用二级减压阀或多级减压阀来达到多级减压的目的。减压效果同二级减压效果差不多，但成本会更高。

实验室集中供气包括：气体泄漏报警与低压报警。

气体泄漏报警：对于易i燃、易i爆、有毒、腐蚀性气体，在气瓶间与使用点处安装泄漏侦测探头，如果气瓶房气体发生泄漏的话，感应探头会即刻将信号传至中心实验室的液晶显示瓶上，并发出预警的声音，这样用户就可以发即时维修。

低压报警：当用户在实验室工作时，气体减压器供应商，需要知道气体是否快要用尽，气瓶压力是否足够，这对实验室实现不间断气体供应是很重要的。